[实用新型]无磁环境扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 201921813544.4 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN210403653U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 姚莉;顾斌宾;朱玉宝 | 申请（专利权）人： | 苏州优波光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘宁 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环境 扫描 电子显微镜 | ||
1.一种无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，包括：
样品台，用于放置样品；
电子源，用于产生电子束；
聚光镜，用于所述电子源产生的电子束进行第一级汇聚；
磁透镜，设于所述聚光镜与样品台之间；且所述磁透镜的极靴与样品台上的样品之间的距离为100mm-200mm，所述磁透镜用于对所述聚光镜汇聚后的电子束的进行第二级汇聚；
静电透镜，设于所述磁透镜与所述样品台之间，用于对经所述磁透镜汇聚后的电子束进行聚焦；及
电子探测器，用于接收电子束经所述静电透镜聚焦后投射至所述样品上产生的散射电子、二次电子及透射电子。
2.根据权利要求1所述的无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，还包括样品室及镜筒，所述镜筒设置在所述样品室上并与所述样品室连通；所述样品台及所述电子探测器设置在所述样品室内；所述电子源、所述聚光镜、所述磁透镜及所述静电透镜均设置在所述镜筒内。
3.根据权利要求2所述的无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，还包括真空系统，所述真空系统连通所述样品室及所述镜筒。
4.根据权利要求1所述的无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，所述静电透镜与所述样品台上的样品之间的距离为0.5mm-10mm。
5.根据权利要求1所述的无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，所述磁透镜的极靴与所述样品台上的样品之间的距离为100mm。
6.根据权利要求1所述的无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，还包括高压电源，所述高压电源电性连接所述电子束源。
7.根据权利要求1所述的无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，还包括信号处理系统、计算机及显示器，所述信号处理系统电连接所述电子探测器及所述计算机，所述计算机电连接所述显示器。
8.根据权利要求1所述的无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，所述聚光镜的数量为多个，多个所述聚光镜沿所述电子束的投射方向相对间隔设置。
9.根据权利要求1所述的无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，所述静电透镜的数量为多个，多个所述静电透镜沿所述电子束的投射方向相对间隔设置。
10.根据权利要求9所述的无磁环境扫描电子显微镜，其特征在于，所述静电透镜的数量为两个，两个所述静电透镜沿所述电子束的投射方向相对间隔设置。
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