[实用新型]一种冷热一体的控温结构有效
| 申请号： | 201921826374.3 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN211620609U | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 陈张发 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;马盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 冷热 一体 结构 | ||
1.一种冷热一体的控温结构，其特征在于，包括载片台、放丝槽、加热丝、冷却气体源和控制中心，其中，所述放丝槽分布在所述载片台内部，所述加热丝位于所述放丝槽中，所述冷却气体源连接所述放丝槽；所述控制中心连接所述加热丝和冷却气体源，所述控制中心用于调节加热丝的功率以及冷却气体的流动速率。
2.根据权利要求1所述的一种冷热一体的控温结构，其特征在于，所述控温结构还包括气体回收单元，所述放丝槽的一端连接所述冷却气体源，另一端连接所述气体回收单元。
3.根据权利要求1所述的一种冷热一体的控温结构，其特征在于，所述控温结构还包括温度测量单元，所述温度测量单元位于所述载片台表面，所述温度测量单元连接所述控制中心。
4.根据权利要求3所述的一种冷热一体的控温结构，其特征在于，所述温度测量单元包括热电偶。
5.根据权利要求1所述的一种冷热一体的控温结构，其特征在于，所述冷却气体源输出的气体包括氮气。
6.根据权利要求1所述的一种冷热一体的控温结构，其特征在于，所述载片台自上而下包括表面层、放丝层和支撑层，所述支撑层的底部连接基座。
7.根据权利要求6所述的一种冷热一体的控温结构，其特征在于，所述放丝槽均匀分布在所述放丝层中。
8.根据权利要求7所述的一种冷热一体的控温结构，其特征在于，所述放丝槽呈螺旋状或圆环形或放射状或放射状加圆环状。
9.根据权利要求6所述的一种冷热一体的控温结构，其特征在于，所述载片台以基座为轴心，在水平面内做旋转运动。
10.根据权利要求1所述的一种冷热一体的控温结构，其特征在于，所述载片台的水平截面为圆形。
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