[实用新型]一种便于晶体硅片检测的上下料机构

权利要求书

1.一种便于晶体硅片检测的上下料机构，其特征在于，包括：

上下料组件，其包括上料机和下料机，所述上料机提供待检测的晶体硅片，所述下料机储存检测合格的晶体硅片；

传送组件，其包括依次设置的第一传送带、第二传送带和第三传送带，所述第一传送带、第二传送带和第三传送带在同一条直线上，所述第二传送带的一端与第一传送带对接，所述第二传送带的另一端与第三传送带对接；

移送组件，其包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手将上料机的晶体硅片移送至第一传送带上，所述第二机械手将第三传送带上的晶体硅片移送至下料机；

防护罩组件，其包括第一无尘罩和第二无尘罩，所述移送组件位于第一无尘罩内部，所述传送组件位于第二无尘罩内部，所述第一无尘罩与第二无尘罩连通；所述第一无尘罩与第二无尘罩的连通处设置有隔板，所述隔板上开设有开口以便于移送组件移送晶体硅片；所述防护罩组件与风机过滤单元连接。

2.如权利要求1所述的便于晶体硅片检测的上下料机构，其特征在于，所述第二传送带具有多个，多个第二传送带依次对接。

3.如权利要求1所述的便于晶体硅片检测的上下料机构，其特征在于，所述第一传送带远离所述第一机械手的一侧设置有第一限位件。

4.如权利要求1所述的便于晶体硅片检测的上下料机构，其特征在于，所述第二传送带两侧设置有第二限位件。

5.如权利要求1所述的便于晶体硅片检测的上下料机构，其特征在于，所述第三传送带远离所述第二机械手的一侧设置有第三限位件。

6.如权利要求1所述的便于晶体硅片检测的上下料机构，其特征在于，所述第一无尘罩内还设置有放置不合格品的花篮，所述花篮位于第二机械手的一侧。

7.如权利要求1所述的便于晶体硅片检测的上下料机构，其特征在于，所述上料机包括前开式晶圆传送盒。

8.如权利要求1所述的便于晶体硅片检测的上下料机构，其特征在于，所述下料机包括前开式晶圆传送盒。

9.如权利要求1所述的便于晶体硅片检测的上下料机构，其特征在于，所述第二无尘罩上设置有第一门板，所述第一门板位于传送组件一侧。