[实用新型]一种用于反应气氛切换的自动控制气路系统

权利要求书

1.一种用于反应气氛切换的自动控制气路系统，其特征在于，该自动控制气路系统包括气路连接装置、流量控制装置和自动控制装置，其中：所述气路连接装置包括预设数量的气路管线和电磁阀，所述气路管线用于为气体输送提供通道，所述电磁阀用于控制各个气路管线的开闭，从而实现反应气氛的切换；所述流量控制装置包括预设数量的质量流量计，分别用于控制各个气路管线中的气体流量，进而控制气体浓度；所述自动控制装置用于控制所述电磁阀的开闭，从而实现反应气氛切换的自动控制。

2.如权利要求1所述的用于反应气氛切换的自动控制气路系统，其特征在于，所述电磁阀为两位三通电磁阀，所述电磁阀处于开启状态时气体进入所述气路管线，所述电磁阀处于关闭状态时气体排空。

3.如权利要求1所述的用于反应气氛切换的自动控制气路系统，其特征在于，所述气路管线之间通过机械连接件进行连接。

4.如权利要求3所述的用于反应气氛切换的自动控制气路系统，其特征在于，所述机械连接件为三通阀或四通阀。

5.如权利要求1所述的用于反应气氛切换的自动控制气路系统，其特征在于，所述自动控制装置包括PLC单元和计算机单元，利用所述PLC单元对所述电磁阀发出逻辑控制信号，从而控制所述电磁阀的开闭，所述计算机单元用于对所述电磁阀的开闭顺序、开闭时间和循环次数进行设置。