[实用新型]一种节能固溶退火炉

说明书

本实用新型公开了一种节能固溶退火炉，包括固溶退火炉主体，所述固溶退火炉主体顶端两侧分别连接有排烟系统和燃气控制系统，所述固溶退火炉主体内部上下两侧分别安装有一级炉棍和二级炉棍，所述一级炉棍和二级炉棍的端面均伸出至固溶退火炉主体外侧，且一级炉棍和二级炉棍的端面外部均安装有定位齿轮，并且定位齿轮之间连接有连接齿链，所述固溶退火炉主体内部安装有加热烧嘴。该节能固溶退火炉的内部设有两层炉棍，令退火炉内不会出现过多的多余空间，提高退火炉内部的热量消耗。本节能固溶退火炉内部设有一级炉棍和二级炉棍，能够均匀占用固溶退火炉主体内部的空间，提高与空气中的热量接触的面积，增大利用率，减少浪费，更加节能。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种节能固溶退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。固溶退火炉是退火炉的一种。

现有的固溶退火炉的炉棍为单层，在对退火炉内的零件进行加温退火时，退火炉内多余的空间会消耗热量，较为浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种节能固溶退火炉，以解决上述背景技术中提出的退火炉内的多余空间消耗热量的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种节能固溶退火炉，包括固溶退火炉主体，所述固溶退火炉主体顶端两侧分别连接有排烟系统和燃气控制系统，所述固溶退火炉主体内部上下两侧分别安装有一级炉棍和二级炉棍，所述一级炉棍和二级炉棍的端面均伸出至固溶退火炉主体外侧，且一级炉棍和二级炉棍的端面外部均安装有定位齿轮，并且定位齿轮之间连接有连接齿链，所述固溶退火炉主体内部安装有加热烧嘴。

优选的，所述固溶退火炉主体内部安装有测温系统，且测温系统位于一级炉棍和二级炉棍之间。

优选的，所述加热烧嘴设有层，且层加热烧嘴分别位于一级炉棍上方、一级炉棍和二级炉棍二者之间和二级炉棍下方。

优选的，所述燃气控制系统设有至少3个，且燃气控制系统均匀分布在固溶退火炉主体顶面。

优选的，所述一级炉棍和二级炉棍相互平行，且一级炉棍和二级炉棍的长度相等。

优选的，所述测温系统设有至少3个，且测温系统等距分布在固溶退火炉主体内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该节能固溶退火炉的内部设有两层炉棍，令退火炉内不会出现过多的多余空间，提高退火炉内部的热量消耗。本节能固溶退火炉内部设有一级炉棍和二级炉棍，能够均匀占用固溶退火炉主体内部的空间，提高与空气中的热量接触的面积，增大利用率，减少浪费，更加节能。

附图说明

图1为本实用新型一种节能固溶退火炉结构示意图；

图2为本实用新型一种节能固溶退火炉的侧视结构示意图；

图3为本实用新型一种节能固溶退火炉的图2中A处放大结构示意图。

图中：1、排烟系统，2、固溶退火炉主体，3、加热烧嘴，4、燃气控制系统，5、一级炉棍，6、测温系统，7、二级炉棍，8、定位齿轮，9、连接齿链。

具体实施方式