[实用新型]一种用于搬运晶元的机器人

权利要求书

1.一种用于搬运晶元的机器人，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)内部安装有电机(2)，所述底座(1)的顶端转动安装有转盘(3)，所述转盘(3)与电机(2)的输出端相连接，所述转盘(3)顶端安装有升降气缸(4)，所述升降气缸(4)的伸缩端连接有安装座(5)，所述安装座(5)顶端固定设置有安装板(6)，所述安装板(6)的前端设置有水平移动机构，所述水平移动机构上安装有第一吸附机构，所述第一吸附机构下方设置有第二吸附机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于搬运晶元的机器人，其特征在于：所述第一吸附机构包括水平移动板(8)，所述水平移动板(8)的前端固定安装有第一气缸(9)，所述第一气缸(9)的伸缩端连接有第一安装块(10)，所述第一安装块(10)底端安装有第一吸盘(11)。

3.根据权利要求2所述的一种用于搬运晶元的机器人，其特征在于：所述水平移动机构包括滑槽(19)，所述滑槽(19)内部转动安装有螺杆(21)，所述滑槽(19)的左端设置有驱动电机(20)，所述驱动电机(20)的输出端与螺杆(21)相连接，所述水平移动板(8)的后端设置有第一滑块(23)，所述第一滑块(23)滑动设置在滑槽(19)中，所述第一滑块(23)表面开设有与螺杆(21)相对应的螺纹孔(24)。

4.根据权利要求3所述的一种用于搬运晶元的机器人，其特征在于：所述螺杆(21)的上下两侧设置有对称分布的导向杆(22)，所述第一滑块(23)表面开设有与导向杆(22)相对应的导向孔(25)，所述导向孔(25)中安装有导向套。

5.根据权利要求1所述的一种用于搬运晶元的机器人，其特征在于：所述第二吸附机构(7)包括第二滑块(12)，所述第二滑块(12)上方设置有第二气缸(14)，所述第二气缸(14)固定安装在安装板(6)上，所述第二气缸(14)的伸缩端与第二滑块(12)相连接，所述第二滑块(12)前端安装有翻转电机(15)，所述翻转电机(15)的输出端固定安装有连接板(16)，所述连接板(16)底端固定设置有第二安装块(17)，所述第二安装块(17)底端安装有第二吸盘(18)。

6.根据权利要求5所述的一种用于搬运晶元的机器人，其特征在于：所述安装板(6)的前端设置有滑轨(13)，所述滑块(12)滑动安装在滑轨(13)上。