[实用新型]一种行星式公自转镀锅扩增结构

说明书

本实用新型是关于一种行星式公自转镀锅扩增结构，包括有一轨道单元、一连动单元、一个或多个主镀锅单元与一个或多个副镀锅单元。本实用新型特别是在两主镀锅单元间隙外缘处，再扩增有一副镀锅单元；借此，能使整体镀锅的面积增加，进而达到有效提升产能利用率的目的。

技术领域

本实用新型涉及一种应用于半导体晶圆片蒸镀的技术，尤指一种行星式公自转镀锅扩增结构，以扩大镀锅面积。

背景技术

在半导体晶圆片制程中，以蒸镀方式进行加工为该产业常见方法。现有设备虽已能利用多个镀锅进行蒸镀，但因为现有结构中，镀锅与镀锅间仍存有极大空隙，导致产能利用率受到限制。

发明人发现，若能再将现有各镀锅与镀锅间所存在的空隙，予以填补并增设适当大小的镀锅，便能增加镀锅面积，借此提升产能。

于是，基于现有镀锅结构，仍有再改进的空间，发明人特以研创成本实用新型，希望能通过本实用新型的提出，改进现有镀锅的结构，期使镀锅的效能得以更加完善且理想，符合实际需求。

实用新型内容

本实用新型主要目的在于：提供一种行星式公自转镀锅扩增结构，以改善前述现有设备中各镀锅间存在空隙导致蒸镀产能受限的缺失。

为达成上述目的，本实用新型具体的方案为：包括有一轨道单元、一连动单元、一个或一个以上主镀锅单元与一个或一个以上副镀锅单元。

较佳的其中一种实施方案，该轨道单元，包括有一环体，该环体略呈平置状，该环体内缘设置有一轨道；该环体能被多个吊架组置于设备中呈悬置状。

较佳的其中一种实施方案，该连动单元，略呈一环状本体，顶内缘连设有一动力连接部；该连动单元位于该轨道单元顶内缘处，但该连动单元的底端与该轨道单元的顶端之间设置竖直间隔。

较佳的其中一种实施方案，各主镀锅单元，包括有一第一连接板，该第一连接板一顶端连接到该连动单元，相对另一端连接有一第一轴件，该第一轴件上方组配有一第一轮体，且该第一轴件下方组配有一主镀锅本体；该第一轮体、该第一轴件与该主镀锅本体都同步连动。

较佳的其中一种实施方案，各副镀锅单元，包括有一第二连接板，该第二连接板一顶端连接到该连动单元，相对另一端连接有一第二轴件，该第二轴件上方组配有一第二轮体，该第二轴件连动一副镀锅本体转动，且该第二轴件下方组配有一连动轮；该连动轮套接有一连动元件，该连动元件为皮带或等效结构；该连动元件另外套置有一被动轮，该被动轮被一第三轴件穿过，且该第三轴件底部结合有一副镀锅本体。前述该连动轮与被动轮间，需要设置有一调整器，借此调节该连动元件的张力。

较佳地，各副镀锅单元位于该两主镀锅单元间隙外缘处。

较佳地，该轨道单元的该环体上，组设有多个吊架。

较佳的其中一种实施方案，该动力连接部，连接有一动力轴。

本实用新型的有益效果是：

一、本实用新型主要是在两主镀锅单元间隙外缘处，再扩增有适当大小、用以填补空隙的镀锅；借此，能使整体镀锅的面积大幅提升，进而达到提升产能的目的。

二、本实用新型提供一种行星式公自转镀锅扩增结构，该所增设的镀锅，能充份运用既有结构，在工作时达到公转与自转效能，不需额外设置动力设备，以使成本控制合宜。

三、本实用新型提供一种行星式公自转镀锅扩增结构，所增设的镀锅结构，不仅能在新制机台上实施，现有旧机也能利用加装的方式进行设置，以达到全面提升改进的目的。

附图说明

图1：为本实用新型的局部立体分解图；

图2：为本实用新型的立体局部组合外观图；

图3：为本实用新型整体的立体组合图；