[实用新型]一种硅处理碱洗装置

说明书

本实用新型提供一种硅处理碱洗装置，包括：回水箱，第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽；第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽的上部设有吸风罩；回水箱的内部，第一清洗槽的内部，第二清洗槽的内部和冲洗槽的内部分别设有液位计和温度传感器；本实用新型可以根据硅材料的处理量设置相应的清洗槽，并对硅材料处理后，还可以进行清洗，提升处理后的效果。通常对硅材料处理采用碱性液体，在处理过程中，容易产生气体，本实用新型通过吸风罩及抽风机把产生的气体排出，避免影响的操作人员的身体。本实用新型通过设置鼓泡器产生鼓泡，能使碱液与内部硅片接触更加充分，实现高效冲洗反应。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗回收技术领域，尤其涉及一种硅处理碱洗装置。

背景技术

硅具有半导体性质。硅主要用来制作高纯半导体、耐高温材料、光导纤维通信材料、有机硅化合物、合金等，被广泛应用于航空航天、电子电气、建筑、运输、能源、化工、纺织、食品、轻工、医疗、农业等行业。

目前对硅材料的应用越来越广泛，随着硅材料的广泛使用，也带来了需要废弃的硅材料，如硅片，硅条等等。当然这里的硅材料可以涉及硅与其他金属可以制成合金，以此来提升其金属性能。比如硅铝合金、硅铜合金、硅铁合金、硅锰合金等。

为了能够实现对硅材料的反复利用，需要对使用后的硅材料进行处理，当然这里的处理方式是将硅材料表面上的杂质去除，或者加入一些介质对已用过的硅材料进一步提纯。目前对使用后的硅材料处理时，将硅材料浸泡在容器加入相应的介质进行处理，这种处理过程不彻底，而且处理过程容易产生气体，对操作人员的身体造成影响。

实用新型内容

为了克服上述现有技术中的不足，本实用新型提供一种硅处理碱洗装置，包括：回水箱，第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽；

第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽的上部设有吸风罩；

回水箱的内部，第一清洗槽的内部，第二清洗槽的内部和冲洗槽的内部分别设有液位计和温度传感器；

第一清洗槽的侧壁上设有第一注水孔和第一溢流口；

第二清洗槽的侧壁上设有第二注水孔和第二溢流口；

冲洗槽的侧壁上设有冲洗注水孔和冲洗溢流口；

第一清洗槽的底部，第二清洗槽的底部和冲洗槽的底部分别设有鼓泡器；

回水箱通过溢流管分别与第一清洗槽的第一溢流口连接，与第二清洗槽的第二溢流口连接以及与冲洗槽的冲洗溢流口连接；

回水箱通过补水管分别与第一清洗槽的第一注水孔连接，与第二清洗槽的第二注水孔连接以及与冲洗槽的冲洗注水孔连接。

优选地，吸风罩上靠近第一清洗槽的上口，靠近第二清洗槽的上口和靠近冲洗槽的上口分别设有吸风口；吸风口通过吸风管连接抽风机；

吸风罩的顶部设有喷淋管道；

喷淋管道上设有喷淋口。

优选地，第一清洗槽和第二清洗槽外部分别包裹有保温腔体，保温腔体包裹在清洗槽的底部以及侧部；保温腔体内部连通有温度在50℃至60℃的水；

保温腔体的外部包裹有保温层。保温腔体通过管道与外部加热水箱连接，在管道上设置管道泵驱动热水在保温腔体和热水箱之间流通，保持保温腔体内部的水温在50℃至60℃之间，对第一清洗槽和第二清洗槽内部加热。

第一清洗槽的底部设有第一加热机构；第二清洗槽的底部设有第二加热机构。第一清洗槽和第二清洗槽可以通过加热机构进行加热，以及通过保温腔体加热。

优选地，吸风罩的四周设有固定孔。

优选地，回水箱的补水管口处设有补水过滤网；