[实用新型]一种单晶炉炉体

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉炉体，加料头设置在炉体的上方中部，炉体的底部设有开口，加料头的顶部焊接有法兰盘a，加料头的上方通过螺杆和螺母固定有安全加料器，安全加料器的上方为大口加料部，大口加料部的直径大于加料头的直径，且大口加料部的下方侧面呈倾斜结构，安全加料器的下方为通料管，通料管的前侧安装有附加阀门，炉体的侧面为炉壁，炉壁的上下方均设有固定块，固定块的外侧通过螺栓安装有外防护套，外防护套的上下方设有与固定块相匹配的安装块，安装块的直径大于固定块的直径。通过外防护套的设置，不仅对单晶炉炉体起到了保护作用，还能够对炉体进行冷却，同时通过安全加料器和附加阀门的配合设置，进一步降低了误操作的风险。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，具体涉及一种单晶炉炉体。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。由于单晶炉炉体非常重要，在使用中需要避免发生损伤，并且在炉内温度很高的情况下，是禁止从加料头加料的，而目前的进料头大多为开放式结构，存在着误操作的风险。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种单晶炉炉体，不仅对单晶炉炉体起到了保护和冷却的作用，还进一步降低了误操作的风险。

根据本实用新型实施例提供的技术方案，一种单晶炉炉体，包括加料头，所述加料头设置在炉体的上方中部，所述炉体的底部设有开口，所述加料头的顶部焊接有法兰盘a，所述加料头的上方通过螺杆和螺母固定有安全加料器，所述安全加料器的上方为大口加料部，所述大口加料部的直径大于所述加料头的直径，且所述大口加料部的下方侧面呈倾斜结构，所述安全加料器的下方为通料管，所述通料管的前侧安装有附加阀门，所述炉体的侧面为炉壁，所述炉壁的上下方均设有固定块，所述固定块的外侧通过螺栓安装有外防护套，所述外防护套的上下方设有与所述固定块相匹配的安装块，所述安装块的直径大于所述固定块的直径，所述外防护套的中部为护套，所述护套的内表面与所述炉壁的外表面相接触，所述护套的内侧设有冷却液储存室，所述护套的侧面为防护壁，所述护套的左上方设有注液头，所述护套的右下侧设有出液头，所述出液头的右侧和所述注液头的上方均螺接有密封盖，所述密封盖的外侧表面设有若干防滑凸起，所述密封盖的内侧设有卡槽，所述卡槽的内侧卡装有密封圈，所述护套的上方中部螺接有温度计，所述温度计的上方为标度盘。

本实用新型中，所述加料头、所述固定块和所述炉体之间为一体成型式结构，所述炉体的直径大于所述加料头的直径。

本实用新型中，所述安全加料器位于所述温度计的上方，所述通料管的底部焊接有与所述法兰盘a相对应的法兰盘b。

本实用新型中，所述附加阀门的前侧为手轮，所述附加阀门位于所述加料头的上方，所述固定块的表面设有与所述螺栓相契合的螺纹槽。

本实用新型中，所述外防护套的直径大于所述炉体的直径，所述安装块、所述注液头、所述出液头和所述外防护套之间为一体成型式结构。

本实用新型中，所述安装块的直径小于所述护套的直径，左上方所述密封盖位于上方所述安装块的上方。

本实用新型中，所述密封圈为金属材质，所述温度计的下方为套管，所述套管的外侧焊接有固定螺帽。

综上所述，本实用新型的有益效果：通过外防护套的设置，不仅对单晶炉炉体起到了保护作用，还能够对炉体进行冷却，同时通过安全加料器和附加阀门的配合设置，进一步降低了误操作的风险。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：