[实用新型]一种单晶炉热场

权利要求书

1.一种单晶炉热场，包括炉体(1)、固定安装在所述炉体(1)内部底端的石墨电极(2)、通过石墨螺栓(16)固定设置在所述石墨电极(2)上方的加热器(3)、坩埚托杆(4)、设置在所述坩埚托杆(4)上方的坩埚托盘(5)、设置在所述坩埚托盘(5)上方的石墨坩埚(6)、石英坩埚(7)、保温盖(8)、导流筒(9)、压环(11)，

所述加热器(3)内部底端面中心处设有下轴，所述坩埚托杆(4)底部嵌入固定在下轴内部；所述坩埚托杆(4)上端面设有托盘槽，所述坩埚托盘(5)设置在托盘槽上端面；所述坩埚托盘(5)上端面设有坩埚槽，所述石墨坩埚(6)底端面设置在坩埚槽上端面；所述石英坩埚(7)竖直叠放在所述石墨坩埚(6)内部；

保温罩(10)设置在所述加热器(3)周围，所述保温罩(10)为筒装结构，其外表面设有石墨碳毡(13)；所述保温罩(10)由上保温罩(10.1)、中保温罩(10.2)、下保温罩(10.3)组成，所述下保温罩(10.3)设置在所述炉体(1)底部，所述上保温罩(10.1)位于炉体(1)上方，所述中保温罩(10.2)位于所述下保温罩(10.3)与所述上保温罩(10.1)之间；所述上保温罩(10.1)上端设有若干个排气孔；

所述保温盖(8)设置在所述上保温罩(10.1)上端面；所述保温盖(8)下方固定设置有所述导流筒(9)，所述导流筒(9)的外径大小与所述保温盖(8)内径大小相匹配；所述保温盖(8)与所述炉体(1)侧壁之间设有压环(11)，所述压环(11)由若干个弧状金属结构嵌合形成的金属圆环；

其特征是：还包括炉底护盘(12)、石墨碳毡(13)、石英环(14)、托杆防漏套(15)，所述坩埚托杆(4)与所述托杆防漏套(15)由耐高温金属材料制成；所述托杆防漏套(15)为上端开口底端封闭的筒状结构，且所述托杆防漏套(15)底端设有通孔，所述坩埚托杆(4)穿过通孔，所述托杆防漏套(15)底端通孔边缘与所述坩埚托杆(4)外表面焊接固定；所述托杆防漏套(15)上端面大于所述托杆防漏套(15)下端面；

所述石英环(14)套入所述石墨电极(2)上，所述炉底护盘(12)与所述石墨碳毡(13)外径小于所述炉体(1)底部内径，所述炉体(1)炉底护盘(12)与所述石墨碳毡(13)外上设有与所述石墨电极(2)相匹配的孔洞，所述石墨碳毡(13)穿过所述石墨电极(2)设置在所述炉体(1)底部上端面，所述炉底护盘(12)穿过所述石墨电极(2)设置在所述石墨碳毡(13)上端面；

所述石墨碳毡(13)盘卷在所述保温罩(10)周围，所述石墨碳毡(13)与其接触的所述石墨碳毡(13)之间设有单层无锡纸。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征是：所述保温盖(8)由上盖和下盖组成，上盖与下盖之间设有所述石墨碳毡(13)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征是：所述坩埚托杆(4)外表面设有多个所述托杆防漏套(15)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征是：所述石墨坩埚(6)位于所述加热器(3)中心位置，且所述石墨坩埚(6)上端面与所述加热器(3)上端面处在同一水平面上。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征是：所述导流筒(9)包括内筒与外筒，内筒与外筒之间设有所述石墨碳毡(13)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征是：所述石墨螺栓(16)、所述加热器(3)与所述石墨电极(2)之间设有石墨纸；所述石墨电极(2)上端面与所述加热器(3)底端面均光滑。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征是：所述托杆防漏套(15)上端开口面积为1.5～3倍的所述托杆防漏套(15)下端开口面积。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征是：所述石墨坩埚(6)为杯形，其底部厚度均匀；所述石墨坩埚(6)底部厚度为3mm～5mm。