[实用新型]一种精细金属掩膜板、掩膜装置及张网设备有效
申请号: | 201921843623.X | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN211036074U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 蔡建畅;薛龙辉;张微;肖星亮 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精细 金属 掩膜板 装置 设备 | ||
1.一种精细金属掩膜板,其特征在于,包括掩膜条本体,所述掩膜条本体为长条状,包括相对的两个长边和相对的两个短边;及,设置在每一所述短边上,沿该短边延伸方向、依次间隔排列的至少三个裙边;
所述掩膜条本体包括靠近所述短边的焊接区域,在所述焊接区域设有多个焊点,所述多个焊点有2~5排,每排焊点的排列方向为所述长边的延伸方向。
2.根据权利要求1所述的精细金属掩膜板,其特征在于,所述掩膜条本体在与所述短边延伸方向上的宽度为100~400mm。
3.根据权利要求1所述的精细金属掩膜板,其特征在于,每一所述短边上的所述裙边的数量为三个;且每一所述裙边在与所述短边延伸方向上的宽度为10~80mm,各所述裙边在所述短边延伸方向上的宽度相同。
4.根据权利要求1所述的精细金属掩膜板,其特征在于,相邻两个所述裙边之间、在所述短边延伸方向上的间距为20~80mm,且任意相邻两个所述裙边之间在所述短边延伸方向上的间距相同。
5.根据权利要求1所述的精细金属掩膜板,其特征在于,相邻两排焊点之间在所述短边延伸方向上的间距为1~5mm,同一排焊点中相邻两个焊点之间在所述长边延伸方向上的间距为1~5mm。
6.根据权利要求1所述的精细金属掩膜板,其特征在于,所述掩膜条本体的每一所述短边上的至少三个裙边包括设在所述短边端部位置的两个端部裙边、及位于两个所述端部裙边之间的中部裙边,
每一裙边包括第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边,所述第一侧边与所述第二侧边相对设置,且所述第一侧边和所述第二侧边的延伸方向与所述短边延伸方向一致,所述第一侧边与所述掩膜条本体的短边连接;所述第三侧边和所述第四侧边相对设置,并位于所述第一侧边和所述第二侧边之间;
其中,两个所述端部裙边中,一个所述端部裙边的第三侧边为与所述长边延伸方向一致的直线状,并与该端部裙边所在一侧的长边重合,第四侧边在靠近所述第一侧边的一端为圆弧状,在靠近所述第二侧边的一端为与所述长边延伸方向一致的直线状;
另一个所述端部裙边的第四侧边为与所述长边延伸方向一致的直线状,并与该端部裙边所在一侧的长边重合,第三侧边在靠近所述第一侧边的一端为圆弧状,在靠近所述第二侧边的一端为与所述长边延伸方向一致的直线状;
所述中部裙边的第三侧边和所述第四侧边均在在靠近所述第一侧边的一端为圆弧状,在靠近所述第二侧边的一端为与所述长边延伸方向一致的直线状。
7.根据权利要求6所述的精细金属掩膜板,其特征在于,
所述中部裙边的所述第三侧边和所述第四侧边的形状关于该中部裙边在所述长边方向上的中心线对称设置;且每一所述短边上的至少三个裙边中,所述中部裙边和两个所述端部裙边的整体形状关于所述掩膜条本体在所述长边方向上的中心线对称。
8.根据权利要求1所述的精细金属掩膜板,其特征在于,
所述掩膜条本体包括开口蒸镀区域和焊接区域,所述开口蒸镀区域位于所述掩膜条本体的中间区域,所述焊接区域位于所述开口蒸镀区域的相对两端,靠近所述短边的位置,所述掩膜条本体的在所述开口蒸镀区域设有多个子区域,每一子区域内设有阵列分布的多个开口。
9.一种掩膜装置,其特征在于,包括:
多个如权利要求1至8任一项所述的精细金属掩膜板;
支撑框架;
及,掩膜板框架,包括相对的第一边框和第二边框、及相对的第三边框和第四边框;
其中,多个所述精细金属掩膜板沿所述第一边框延伸方向依次排列,每一所述精细金属掩膜板的两个短边分别固定在所述第一边框和所述第二边框上;
所述支撑框架固定在所述掩膜板框架上,并设置在所述精细金属掩膜板的一侧。
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