[实用新型]一种水平式MOCVD系统

权利要求书

1.一种水平式MOCVD系统，其特征在于，包括依次布设的载气装置、反应源装置、反应室和真空系统；

所述载气装置包括气瓶(11)和流量计(12)，载气装置可提供载气并精准控制其流量；

所述反应源装置由并联布置的气化腔(22)组成，每个气化腔(22)两端各配置一个截止阀(21)；每个气化腔(22)中分别安装一个有机反应源容器(24)；气化腔(22)外壁缠有加热带(23)，可实现气化腔(22)的独立温控，反应源装置可同时满足多种有机反应源的气化条件；气化腔(22)进气口通过KF接口连接，出气口端与密封端盖(31)焊接呈一体；

所述反应室由密封端盖(31)、管式炉(34)和石英管(36)组成，石英管(36)内进气口一侧依次布设过滤网(32)和整流工装(33)，石英管(36)内中部设置石墨样品台(38)，管式炉(34)包裹在石英管(36)外壁，保证石墨样品台(38)置于管式炉(34)内，石英管(36)两端分别用密封端盖(31)密封，密封端盖(31)中心设有进气口和出气口，进气口和出气口两侧分别连接反应源装置和真空系统，过滤网(32)和整流工装(33)分别用来过滤大颗粒杂质和优化气流均匀分布，管式炉(34)用于控制装填固定样品的温度，并提高其均匀性；

所述真空系统包括依次布设的截止阀(21)、真空计(41)、尾气处理装置(42)和真空泵(43)，反应室的反应产物经尾气过滤装置处理后由真空泵排出。

2.根据权利要求1所述的一种水平式MOCVD系统，其特征在于，所述石墨样品台(38)为圆柱体，垂直圆面方向设置圆柱孔道，圆柱孔道贯穿石墨样品台(38)，用于放置样品管(37)，样品管(37)外径与圆柱孔道的内径相匹配，石墨样品台(38)外径与石英管(36)内径相匹配。

3.根据权利要求1所述的一种水平式MOCVD系统，其特征在于，所述水平式MOCVD系统中均采用胶皮管或不锈钢管相连。

4.根据权利要求1所述的一种水平式MOCVD系统，其特征在于，所述气化腔(22)的个数为≥1。