[实用新型]一种用于激光剥蚀系统的防起雾装置有效
| 申请号： | 201921852533.7 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN210893887U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 任德馨;刘朋;陈微言;胡志刚 | 申请（专利权）人： | 上海凯来仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/42 | 分类号： | G01N1/42;G01N27/62 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 201200 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 剥蚀 系统 防起雾 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于激光剥蚀系统的防起雾装置，其特征在于：包括环状结构件，所述环状结构件的内部具有一沿其周向开设的气体流通槽，所述环状结构件的底部开设有多个出气孔，所述出气孔与气体流通槽连通；所述环状结构件具有一进气口，所述进气口与气体流通槽连通。
2.根据权利要求1所述的防起雾装置，其特征在于，还包括一进气连接件，所述进气连接件通过进气口与环状结构件连接。
3.根据权利要求2所述的防起雾装置，其特征在于，所述进气连接件可拆卸地与环状结构件连接。
4.根据权利要求3所述的防起雾装置，其特征在于，所述进气连接件与进气口螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的防起雾装置，其特征在于，所述进气口的内表面具有内螺纹，所述进气连接件的一端具有与所述内螺纹相匹配的外螺纹。
6.根据权利要求1所述的防起雾装置，其特征在于，所述出气孔均匀分布在环状结构件的底部。
7.根据权利要求1-6任一项所述的防起雾装置，其特征在于，所述环状结构件上设置有紧固机构。
8.根据权利要求7所述的防起雾装置，其特征在于，所述紧固机构包括开设在环状结构件上的紧固螺纹孔，所述紧固螺纹孔沿径向贯穿环状结构件，所述紧固螺纹孔内配合设置有紧固螺钉，所述紧固螺纹孔不与气体流通槽连通。
9.根据权利要求8所述的防起雾装置，其特征在于，所述紧固螺纹孔沿周向均匀分布在环状结构件上。
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