[实用新型]用于晶体硅铸锭炉的导流装置和晶体硅铸锭炉

权利要求书

1.用于晶体硅铸锭炉的导流装置，其特征在于，包括固定套筒和至少一个中空的导流筒，所述固定套筒用于将所述导流筒固定在所述晶体硅铸锭炉上；所述导流筒两端口之间的筒壁内侧上设有螺旋凹槽，气体经所述导流装置后能形成螺旋气流。

2.如权利要求1所述的导流装置，其特征在于，所述导流筒的筒壁厚度为5-15mm；所述螺旋凹槽的深度占所述导流筒的筒壁厚度的1/3-2/3。

3.如权利要求1所述的导流装置，其特征在于，所述螺旋凹槽的截面宽度为4-8mm。

4.如权利要求1所述的导流装置，其特征在于，所述螺旋凹槽底面的切线与所述导流筒中心轴线的夹角为35-60°。

5.如权利要求1所述的导流装置，其特征在于，所述导流筒的内径为60-70mm。

6.如权利要求1所述的导流装置，其特征在于，所述固定套筒还包括分流腔，所述分流腔与所述导流筒贯通，所述分流腔还用于连通外部气源。

7.如权利要求1所述的导流装置，其特征在于，所述固定套筒套设在所述导流筒的一端，以固定所述导流筒。

8.一种晶体硅铸锭炉，其特征在于，包括炉体，和设置在所述炉体内的坩埚、热交换台、护板、加热器、隔热笼和如权利要求1-7任意一项所述的导流装置，所述坩埚设于所述热交换台上，所述坩埚的外围依次套设所述护板和所述加热器，所述坩埚、所述热交换台、所述护板和所述加热器均设于所述隔热笼内；所述导流装置的所述固定套筒设置在炉体上，所述导流筒依次贯穿所述隔热笼和所述加热器的顶部，并延伸至所述坩埚的开口上部，所述导流筒的长度方向垂直于所述坩埚底部表面。

9.如权利要求8所述的晶体硅铸锭炉，其特征在于，所述导流筒距离所述坩埚开口所在平面的高度为10-15cm。

10.如权利要求8所述的晶体硅铸锭炉，其特征在于，由每个所述导流筒通入的气体的流量为20-30L/min。