[实用新型]一种基于人工金属微结构的气压传感器有效
| 申请号： | 201921853843.0 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN210464770U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 周鹏;郑改革;花小敏;邹秀娟 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 刘林峰 |
| 地址： | 210044 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 人工 金属 微结构 气压 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于人工金属微结构的气压传感器，其特征在于：
包括石英衬底(3-2)，所述石英衬底(3-2)上设有用于阻挡透射的金属铝反射层(2-2)，金属铝反射层(2-2)上方自下而上依次设有氧化铝介质层(4)、二氧化硅层(3-1)和悬浮金属铝膜(2-1)；
所述二氧化硅层(3-1)为环形，所述悬浮金属铝膜(2-1)上开设有纳米圆孔阵列，圆孔阵列位于二氧化硅层(3-1)内孔的正上方，且纳米圆孔上皆覆盖有透明薄膜(1)。
2.根据权利要求1所述的一种基于人工金属微结构的气压传感器，其特征在于：圆孔阵列为六角密排的周期性铝纳米圆孔阵列。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于人工金属微结构的气压传感器，其特征在于：悬浮金属铝膜(2-1)通过Ti粘粘于二氧化硅层(3-1)上。
4.根据权利要求1所述的一种基于人工金属微结构的气压传感器，其特征在于：透明薄膜(1)为PET薄膜。
5.根据权利要求1或2所述的一种基于人工金属微结构的气压传感器，其特征在于：二氧化硅层(3-1)设有50nm厚。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京信息工程大学，未经南京信息工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921853843.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电池模块支架
- 下一篇：一种LED灯线束结构及灯盘
