[实用新型]一种桌面化微纳米磨床

说明书

本实用新型一种桌面化微纳米磨床，包括机床底座,还包括：第一运动机构、第二运动机构、第三运动机构和第四运动机构，所述第一运动机构包括导轨底座一，所述导轨底座一安装在机床底座上，所述第二运动机构包括导轨底座二，筋板，导轨上盖二，所述筋板安装在导轨上盖二上，所述导轨底座二安装在机床底座上，所述第三运动机构包括导轨底座三，所述导轨底座三安装在筋板上，与第二运动机构相连，第四运动机构包括Y方向导轨五，导轨五固定在机床底座上。该磨床能通过多轴联动，实现曲线直线等不同的加工路线，并配有CCD图像监测系统，完成使得主轴对工件轴的精确加工，机床体工作台的尺寸为400mm×310mm×30mm,占地面积小、制造成本低，适用于小型化零件加工。

技术领域

本实用新型属于机械加工技术领域，具体涉及一种桌面化微纳米磨床。

背景技术

目前，加工微小零件主要有两种方式。一种方式是比较成熟的基于半导体制造工艺、光刻技术、MEMS和LIGA技术的微小零件制造技术，这些加工方法普遍存在加工材料单一、加工设备昂贵等问题，且只能加工结构简单的二维或准三维微机械零件，无法进行复杂的三维微机械零件的加工；另一种方式是利用常规机床进行三维微小型零件加工，但这种加工方式存在场地占用大、原材料浪费严重、能源消耗大、制造成本高、生产效率低、灵活性差等缺点，同时由于被加工零件特征尺寸非常小，使得加工工艺非常复杂，甚至难以实现。

本申请提供的桌面化微纳米磨床是为超精密机床，目的就是实现“小机床加工小零件”的理念。以微小机械零件为加工对象，利用系统化、集成化理论和技术，根据加工工件结构及要求实现供料、加工、检测、搬运等的有机组合和优化，在较小的空间内完成微小零件的制造，是有别于MEMS的微制造方法与技术。它将成为加工非硅材料(如金属、陶瓷等)微小零件最有效的加工方法，能够从根本上解决上述微小零件加工方式存在的问题。

实用新型内容

针对现有加工微小零件方法中存在的不足，本实用新型提出一种桌面化微纳米磨床是为一种超精密机床。该磨床能通过多轴联动，实现曲线直线等不同的加工路线，另外该磨床也能够对其它一些工具零件进行表面加工并配有CCD图像监测系统，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种桌面化微纳米磨床，包括机床底座,还包括：第一运动机构、第二运动机构、第三运动机构和第四运动机构，所述第一运动机构包括导轨底座一，所述导轨底座一安装在机床底座上，所述第二运动机构包括导轨底座二，筋板，导轨上盖二，所述筋板安装在导轨上盖二上，所述导轨底座二安装在机床底座上，所述第三运动机构包括导轨底座三，所述导轨底座三安装在筋板上，与第二运动机构相连，第四运动机构包括Y方向导轨五，导轨五固定在机床底座上。

第一运动机构还包括工件轴，X方向导轨一，导轨上盖一，陶瓷片一，压电陶瓷电机一，所述工件轴位于X方向轴承座内，X方向导轨一安装在导轨底座一上，所述导轨上盖一安装在X方向导轨一上方，在X方向导轨一的一侧镶有陶瓷片一，所述压电陶瓷电机一安装在陶瓷片一上。压电陶瓷电机一驱动保证了导轨的高精度稳定运动，从而使工件轴在X方向上移动。

所述第二运动机构还包括定滑轮，配重，Y方向导轨二，陶瓷片二，压电陶瓷电机二，所述配重的定滑轮固定在筋板的上方，Y方向导轨二安装在导轨底座二上，所述导轨上盖二安装在Y方向导轨二上方，在Y方向导轨二的一侧镶有陶瓷片二，所述压电陶瓷电机二安装在陶瓷片二上。压电陶瓷电机二驱动保证了导轨的高精度稳定运动，从而使主轴在Y方向上的移动。

所述第三运动机构还包括主轴，Z方向导轨三，导轨上盖三，陶瓷片三，压电陶瓷电机三，Z方向导轨三安装在导轨底座三上，所述导轨上盖三安装在Z方向导轨三上方，在Z方向导轨三的一侧镶有陶瓷片三，所述压电陶瓷电机三安装在陶瓷片三上。压电陶瓷电机三驱动保证了导轨的高精度稳定运动，从而使主轴在Z方向上移动。