[实用新型]三轴加速度计

权利要求书

1.一种三轴加速度计，其特征在于，其包括：

基板；

固定设置于所述基板上的锚块；

固定设置于所述基板上的第一X轴电极、第二X轴电极、第一Y轴电极、第二Y轴电极、第一Z轴电极和第二Z轴电极；

悬置于所述基板上方的框架，其包括相对设置的第一梁柱和第二梁柱、连接第一梁柱和第二梁柱的连接梁，第一梁柱形成第三Z轴电极，第二梁柱形成第四Z轴电极，其中第一Z轴电极和第三Z轴电极相对设置以形成第一Z轴电容，第二Z轴电极和第四Z轴电极相对设置以形成第二Z轴电容；

悬置于所述基板上方的质量块，所述质量块上形成有第三X轴电极和第三Y轴电极，其中第一X轴电极和第三X轴电极相对设置以形成第一X轴电容，第二X轴电极和第三X轴电极相对设置以形成第二X轴电容，第一Y轴电极和第三Y轴电极相对设置以形成第一Y轴电容，第二Y轴电极和第三Y轴电极相对设置以形成第二Y轴电容；和

弹性连接组件，被配置的弹性连接于所述锚块、所述连接梁以及所述质量块上。

2.根据权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，所述框架、所述质量块、所述弹性连接组件以及所述锚块一起形成质量块电极。

3.根据权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，

在X轴上具有加速度时，所述弹性连接组件弹性形变，所述质量块沿X移动，第一X轴电极和第三X轴电极之间的间隙变化导致第一X轴电容变化，第二X轴电极和第三X轴电极之间的间隙变化导致第二X轴电容变化，第一X轴电容和第二X轴电容变化相反，通过检测所述第一X轴电容和第二X轴电容的变化差，进而检测得到X轴上的加速度，

在Y轴上具有加速度时，所述弹性连接组件弹性形变，所述质量块沿Y移动，第一Y轴电极和第三Y轴电极之间的间隙变化导致第一Y轴电容变化，第二Y轴电极和第三Y轴电极之间的间隙变化导致第二Y轴电容变化，通过检测所述第一Y轴电容和第二Y轴电容的变化差，进而检测得到Y轴上的加速度，

在Z轴上具有加速度时，所述弹性连接组件弹性形变，所述质量块沿Z轴移动，带动所述框架转动，第一Z轴电极和第三Z轴电极之间的间隙变大或变小导致第一Z轴电容变小或变大，第二Z轴电极和第四Z轴电极之间的间隙变小或变大导致第二Z轴电容变大或变小，通过检测所述第一Z轴电容和所述第二Z轴电容的变化差，进而检测得到Z轴上的加速度。

4.根据权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，所述锚块的数量为两个，这两个锚块分别记为第一锚块和第二锚块，第一锚块和第二锚块间隔设置，所述连接梁的数量为两个，这两个连接梁分别记为第一连接梁和第二连接梁，每个连接梁的两端分别连接第一梁柱和第二梁柱，所述框架围成一个空间，所述质量块位于所述框架中，

所述弹性连接组件的数量为两个，这两个弹性连接组件分别记为第一弹性连接组件和第二弹性连接组件，第一弹性连接组件弹性连接于第一锚块、第一连接梁以及所述质量块上，第二弹性连接组件弹性连接于第二锚块、第二连接梁以及所述质量块上。

5.根据权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，所述弹性连接组件包括：

与所述锚块连接的连接部；

与连接部的一端连接的第一弹性部；

与连接部的另一端连接的第二弹性部；

与第一弹性部连接的第一弹性臂；

与第二弹性部连接的第二弹性臂；

连接于第一弹性臂和第二弹性臂之间的第三弹性部；

连接于第一弹性臂和所述连接梁的中部之间的第四弹性部，第一弹性臂与第四弹性部连接的部分和所述连接梁与第四弹性部连接的部分沿X轴方向间隔预定距离；

连接于第一弹性臂和质量块的一侧之间的第五弹性部；

连接于第二弹性臂和质量块的另一侧之间的第六弹性部。

6.根据权利要求5所述的三轴加速度计，其特征在于，第五弹性部和第六弹性部均包括有Y轴向延伸的第一弹性件和X轴向延伸的第二弹性件，其中第一弹性件与所述质量块相连，第二弹性件与第一弹性臂或第二弹性臂相连。

7.根据权利要求5所述的三轴加速度计，其特征在于，所述连接梁包括与第一梁柱相连的第一端部、与第二梁柱相连的第二端部和位于第一端部和第二端部之间的中间部，所述连接梁的中间部包括位于内侧的颈部和位于外侧的支撑部，所述颈部和支撑部之间设置有间隙，所述支撑部的一侧与第二端部相连，另一端与第一端部断开；第四弹性部与所述连接梁的颈部的中点相连。