[实用新型]一种真空保持装置及真空器件

说明书

本实用新型涉及一种真空保持装置，包括真空腔、柔性异型芯管和用于装配真空器件的压板，所述真空腔的尾部开设有通孔，所述异型芯管紧贴在真空腔的尾部，异型芯管的尾部设有连通内外的狭缝，所述压板固接在真空腔上，压板中部开设与异形芯管外形吻合的通槽，压板通过通槽将异型芯管紧压在真空腔上。本实用新型还涉及一种真空器件，与真空保持装置配合使用，它在前端面上设有两个凸起，当真空器件密封装配在压板上时，两个凸起顶压在异型芯管尾部狭缝的两侧，迫使狭缝张开。本实用新型采用纯机械结构，无需连接气路。在取下真空器件的同时保持真空，无需破空，极大的节省了再次抽真空的时间，节省了工作成本，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及一种真空保持装置及真空器件，属于真空设备研究技术领域。

背景技术

一般中高真空系统达到理想的真空度通常需要抽几小时的真空，甚至需要稳定过夜，抽真空占据了大部分的维护时间和稳定时间。而进行系统维护时，往往需要卸掉真空，维护结束后再抽真空，耗时非常长，而且频繁的开关机也不利于真空系统的稳定运行，也容易引入污染。

真空保持系统是指在真空系统中某些器件需要维护时，可以保持其余部件真空度稳定的一种装置。在现有技术中，可实现免放空的装置一般需要连接气路，通过气体的压力来维持真空度的稳定，操作较为复杂，价格也比较昂贵。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种真空保持装置，当真空器件需要拆卸维护时，无需连接气路也可保持其余器件真空度的稳定。

为了解决上述问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种真空保持装置，包括真空腔、柔性异型芯管和用于装配真空器件的压板，

所述真空腔的尾部开设有连接腔体内外的通孔，

所述异型芯管的管腔开口正对通孔密封紧贴在真空腔的尾部，异型芯管的尾部设有连通内外的狭缝，

所述压板固接在真空腔上，压板中部开设与异形芯管外形吻合的通槽，所述异形芯管位于通槽内，压板通过通槽将异型芯管紧压在真空腔上。

进一步，所述异型芯管的管腔在尾部逐渐收缩成直线状。

进一步，所述异型芯管的尾部为十字形。

进一步，为了方便压板对异形芯管施加压力，所述异型芯管的前端具有圆台结构。

进一步，为了方便安装密封圈，实现压板与装配在它上面的真空器件之间的密封，所述压板的尾部端面上开设有O型密封圈槽。

进一步，作为一种固定方式，所述压板通过螺钉固接在真空腔上。

本实用新型还提供了一种真空器件，与上述真空保持装置配合使用，它具有连通真空保持装置的真空通道，真空器件在前端面上设有两个凸起，两个凸起对称分布在真空通道端口的两侧，当真空器件密封装配在压板上时，两个凸起顶压在异型芯管尾部狭缝的两侧，迫使狭缝张开。

本实用新型的工作原理是，当真空器件未安装在真空保持装置上时，若真空泵等真空获得装置运行，异型芯管尾端的狭缝在内外气压差的作用下紧贴闭合，实现真空密封，保持真空腔内真空度的稳定。当通过压板安装真空器件后，真空器件端面的两个凸起顶住狭缝的两侧，迫使狭缝张开，连通了真空腔、异型芯管与真空器件，使真空器件可以开始工作。当真空器件需要拆卸时，先取掉真空器件与压板之间的连接件(如固定螺栓)，然后只需直接拔除真空器件，在内外压差的作用下异型芯管的狭缝瞬间闭合，隔断了真空腔与外界的通道，继续保持内部的真空。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型采用纯机械结构，无需连接气路。在取下真空器件的同时保持真空，无需破空，极大的节省了再次抽真空的时间，节省了工作成本，提高了工作效率。