[实用新型]一种硅片清洗剂试剂盒

权利要求书

1.一种硅片清洗剂试剂盒，其特征在于，包括盒体，所述盒体设置有隔板(13)，将所述盒体分为第一容纳腔(11)和第二容纳腔(12)；

所述第一容纳腔(11)内盛放有所述硅片清洗剂的A组分；所述第二容纳腔(12)内盛放有所述硅片清洗剂的B组分；

所述第一容纳腔(11)的顶部连接有伸入于所述第一容纳腔(11)内的第一出液管道(31)，所述第二容纳腔(12)的顶部连接有伸入于所述第二容纳腔(12)内的第二出液管道(32)。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗剂试剂盒，其特征在于，所述第一出液管道(31)伸入于所述第一容纳腔(11)的底部，所述第二出液管道(32)伸入于所述第二容纳腔(12)的底部。

3.根据权利要求1所述的硅片清洗剂试剂盒，其特征在于，所述第一出液管道(31)上依次设置有第一止回阀(311)和第一量杯(312)，所述第一止回阀(311)位于所述第一容纳腔(11)和所述第一量杯(312)之间；

所述第二出液管道(32)上依次设置有第二止回阀(321)和第二量杯(322)，所述第二止回阀(321)位于所述第二容纳腔(12)和所述第二量杯(322)之间。

4.根据权利要求3所述的硅片清洗剂试剂盒，其特征在于，所述硅片清洗剂试剂盒还包括第三出液管道(33)，所述第三出液管道(33)上设置有气动阀(331)；

所述第一量杯(312)的底部设置有与所述第三出液管道(33)相连通的第一连接管(41)，所述第一连接管(41)上设置有第三阀门(411)；

所述第二量杯(322)的底部设置有与所述第三出液管道(33)相连通的第二连接管(42)，所述第二连接管(42)上设置有第四阀门(421)。

5.根据权利要求3所述的硅片清洗剂试剂盒，其特征在于，所述第一量杯(312)的顶部设置有第一通气管(313)，所述第一通气管(313)上设置有第一通气阀(314)；

所述第二量杯(322)的顶部设置有第二通气管(323)，所述第二通气管(323)上设置有第二通气阀(324)。

6.根据权利要求3所述的硅片清洗剂试剂盒，其特征在于，所述第一量杯(312)和所述第二量杯(322)均为透明材质。

7.根据权利要求3所述的硅片清洗剂试剂盒，其特征在于，所述第一量杯(312)和所述第二量杯(322)的最大量程均为5L。

8.根据权利要求1所述的硅片清洗剂试剂盒，其特征在于，所述第一容纳腔(11)的顶部设置有第一盒盖(21)，所述第二容纳腔(12)的顶部设置有第二盒盖(22)。

9.根据权利要求8所述的硅片清洗剂试剂盒，其特征在于，所述第一盒盖(21)和第二盒盖(22)上均设有通孔。