[实用新型]一种晶圆垫片有效
| 申请号： | 201921865821.6 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN210972009U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 邱摩西;刘汝拯;陈松平;何江波 | 申请（专利权）人： | 义柏科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/02 | 分类号： | B65D25/02;B65D81/05;B65D85/90 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街12号4栋1*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 垫片 | ||
1.一种晶圆垫片，其特征在于，包括填充装有晶圆(100)的包装盒(200)多余空间的第一垫片(10)和第二垫片(20)；所述第二垫片(20)的厚度大于所述第一垫片(10)的厚度；
所述第一垫片(10)包括第一环状主体(11)；所述第一环状主体(11)上设有至少一个第一吸合面(121)，以在晶圆(100)自动化包装时供吸盘吸附于其上；
所述第二垫片(20)包括第二环状主体(21)；所述第二环状主体(21)上设有至少一个第二吸合面(231)，以在晶圆(100)自动化包装时供吸盘吸附于其上。
2.根据权利要求1所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第一环状主体(11)顶壁上设有若干隔离槽(12)；所述若干隔离槽(12)间隔设置；
所述第一吸合面(121)为多个，其对应设置在相邻设置的两个所述隔离槽(12)之间。
3.根据权利要求2所述的晶圆垫片，其特征在于，所述隔离槽(12)的纵切面呈H形。
4.根据权利要求1所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第一环状主体(11)上设有至少一个第一通孔(13)。
5.根据权利要求1所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第二环状主体(21)的顶壁开设有若干卡接槽(22)；所述若干卡接槽(22)间隔设置；相邻设置的两个卡接槽(22)之间设有连接相邻设置的两个所述卡接槽(22)的隔台(23)；
所述第二吸合面(231)为多个，其对应设置在每个所述隔台(23)的顶面。
6.根据权利要求5所述的晶圆垫片，其特征在于，每个所述卡接槽(22)中设有至少一个第二通孔(24)。
7.根据权利要求5所述的晶圆垫片，其特征在于，每个所述卡接槽(22)中设有至少一个支撑筋(25)，以在多个所述第二垫片(20)叠合时支撑位于上部的所述第二垫片(20)。
8.根据权利要求5所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第二环状主体(21)的顶壁内凹形成所述卡接槽(22)；
所述第二环状主体(21)的底壁上设有与所述卡接槽(22)对应设置的卡接凸台；
所述卡接凸台与所述卡接槽(22)一一对应设置，以在多个所述第二垫片(20)叠合时卡入位于下部的所述第二垫片(20)的所述卡接槽(22)中。
9.根据权利要求5所述的晶圆垫片，其特征在于，所述卡接槽(22)的外侧壁至少部分向外延伸形成与所述包装盒(200)内壁面配合定位的定位凸缘(211)。
10.根据权利要求1所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第二吸合面(231)为平面；
和/或，所述第一吸合面(121)为平面。
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