[实用新型]一种碳化硅管保护装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅管保护装置，是碳化硅管、加热丝、继电器RELAY、二极管D1电容C1、电阻R1开关S1、滑动变阻器R4、双刀双掷开关S3以及继电器RELAY的线圈K1构成接触检测回路；+12V电源、电阻R2、双刀双掷开关S3的另一组拨动触点构成中断测试回路；继电器RELAY、跳闸线圈CB1常开触点K2‑2构成加热中断回路；继电器RELAY、开关电源PS1、常开触点K1‑1、复位开关S2、常开触点K2‑3、电阻R3、蜂鸣器ALARM、警示灯LED以及继电器RELAY的线圈K2构成报警回路，本实用新型具有高可靠性、易维护、能够在加热丝接触到碳化硅管时报警并且切断电源的特点。

技术领域

本实用新型属于半导体芯片的扩散设备技术领域，尤其涉及一种碳化硅管保护装置。

背景技术

碳化硅管具有强度高、硬度高、耐磨性好、耐高温、耐腐蚀、抗热抗震性好、导热系数大以及抗氧化性好等优越性能，被广泛使用在半导体芯片的工艺设备，尤其是扩散工艺设备中。然而复杂的制造工艺导致了碳化硅管价格高昂，制造周期长，因此尽量延长碳化硅管的使用寿命有重要意义。影响碳化硅管使用寿命的最大隐患是加热丝坍塌，在半导体芯片扩散工艺设备中，碳化硅管被圆形加热丝包围在中间，加热丝在长时间高温使用后可能会发生形变，最终会导致加热丝直接接触到碳化硅管，致使碳化硅管损毁。为避免上述情况下的碳化硅管损毁，通常的做法是定期安排工作人员肉眼观察加热丝是否有形变，但是这种做法的缺点一是微小的形变很难用肉眼观察到，二是观察是在室温下进行的，与实际高温工作环境下发生的形变量不同。因此需要一种方法在加热丝接触到碳化硅管的第一时间报警并且切断加热电源。

发明内容

本实用新型的目的在于改进已有技术的不足提供一种具有高可靠性、易维护、能够在加热丝接触到碳化硅管时报警并且切断电源的碳化硅管保护装置。

本实用新型的目的是这样实现的，一种碳化硅管保护装置，包括加热丝和碳化硅管，其特点是加热丝的电极LOAD串接继电器RELAY的1脚后接二极管D1的正极，二极管D1的负极接电容C1正极、电阻R1的公共端，电阻R1的另一端接串接开关S1后接滑动变阻器R4的滑动端，滑动变阻器R4的固定端接双刀双掷开关S3的拨动触点S31，碳化硅管串接继电器RELAY的2脚后接电容C1负极、双刀双掷开关S3的拨动触点S33，继电器RELAY的线圈K1的两端分别接双刀双掷开关S3的固定两触点，以上构成接触检测回路；+12V电源串接电阻R2接双刀双掷开关S3的拨动触点S32，双刀双掷开关S3的拨动触点S34接地，以上构成中断测试回路；

继电器RELAY的3脚的一端接跳闸线圈CB1，另一端与接继电器RELAY的常开触点K2-2的一端，常开触点K2-2的另一端与继电器RELAY的4脚连接，以上构成加热中断回路；

继电器RELAY的5脚的一端接开关电源PS1的正极，另一端接继电器RELAY的常开触点K1-1、复位开关S2、继电器RELAY的常开触点K2-3的公共端，复位开关S2与继电器RELAY的常开触点K2-1串联后与常开触点K1-1并联，常开触点K2-3的另一端接电阻R3、蜂鸣器ALARM的公共端，电阻R3串接警示灯LED后接蜂鸣器ALARM、线圈K2的公共端并接地，以上构成报警回路；

继电器RELAY的6脚接开关电源PS1的接地端。

本实用新型与已有技术相比具有以下显著特点和积极效果：本实用新型可以检测加热丝与碳化硅管是否接触，当加热丝与碳化硅管接触时，由于碳化硅管具有导电性，会在继电器的线圈中产生电流，说明加热丝与碳化硅管接触，继而触发中断和报警电路，触发灵敏度可以通过调节滑动变阻器的阻值来改变；当中断电路被触发时会通过跳闸线圈切断加热电源，防止碳化硅管损坏；当报警电路被触发时，警示灯亮起，蜂鸣器长鸣，此时只有在工作人员按下复位按键才会停止报警；可以把双刀双掷开关拨到测试位置，外接电源和电阻，测试触发、报警和中断功能。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。