[实用新型]湿法清洗设备烘干机构

说明书

本实用新型是湿法清洗设备烘干机构，其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板，气缸固定座上固定有气缸，气缸上固定有热风升降装置，热风升降装置上固定有热风管，热风管内设感温机构，气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构；模组固定板上固定有吹干模组和感应器，吹干模组上固定有冷风管，模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。本实用新型的优点：烘干机构采用升降带动热风管，有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品，能充分的烘干；吹干模组带动冷风管左右移动，也充分覆盖，从而达到吹干水分；标准件保证了机构整体稳定性，达到设备产品干进干出的目的，提高了质量，且提高了效率。

技术领域

本实用新型涉及的是湿法清洗设备烘干机构，具体涉及一种清洗工艺中产品需要干进干出的机构。

背景技术

湿法清洗设备烘干机构是将前处理清洗、腐蚀后的Cassette(晶圆花篮)及其内部的产品进行干燥处理的机构，主要是通过吹干将Cassette及其内部的产品上附带的水分吹到槽体内并排放掉，再通过烘干机构将Cassette及其内部的产品烘干。

现有技术的湿法清洗设备烘干机构存在以下不足：1)产品的表面会因为吹的不干净而存在水渍的痕迹；2)Cassette上底部角落还是会存有一部分的水分，无法彻底清除。

实用新型内容

本实用新型提出的是湿法清洗设备烘干机构，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现有效清除Cassette及其内部的产品上的水分并进行烘干。

本实用新型的技术解决方案：湿法清洗设备烘干机构，其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板，气缸固定座上固定有气缸，气缸上固定有热风升降装置，热风升降装置上固定有热风管，热风管内设感温机构，气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构；模组固定板上固定有吹干模组和感应器，吹干模组上固定有冷风管，模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。

优选的，所述的热风管设置在槽体主体内部两侧，热风管内通有热氮气，热风升降装置包括升降组件和连接升降组件一端的热风管接头，升降组件另一端连接气缸，热风管接头焊接连接热风管。

优选的，所述的热风管一端焊接有感温机构接头，感温机构包括感温棒，感温棒通过感温机构接头固定在热风管内。

优选的，所述的吹干模组设置在槽体主体上氮气椭圆吹气口处，吹干模组包括丝杆、导轨、滑块、上下固定座、移动螺母和电机，冷风管固定在移动螺母上，冷风管上设有氮气孔，感应器设置在导轨两侧端。

优选的，所述的槽体主体、气缸固定座和模组固定板为NPP材质，热风升降装置、热风管、感温机构和冷风管均为SUS316材质，吹干模组为日本CKD标准件，感应器为欧姆龙omronEESX674-WR标准件。

本实用新型的优点：1)烘干机构采用升降机构带动热风管，有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品，能充分的烘干Cassette及其内部的产品；2)吹干模组带动冷风管左右移动，也充分覆盖了整个Cassette及其内部的产品，从而达到吹干Cassette及其内部的产品上的水分；3)机构的零件精密度高，标准件保证了机构的整体稳定性，达到了设备的产品干进干出的目的，提高了产品的质量，并且提高了生产效率。

附图说明

图1是本实用新型湿法清洗设备烘干机构的结构示意图。

图2是图1的侧视图。

图3是图1的俯视图。

图中的1是槽体主体、2是气缸固定板、3是气缸、4是热风升降装置、5是热风管、6是感温机构、7是模组固定板、8是吹干模组、9是感应器、10是冷风管。

具体实施方式