[实用新型]微型过滤器及MEMS传感器组件

说明书

本公开内容的第一方面提供了一种微型过滤器，其包括：承载件(201)，具有形成于其内的、在其厚度方向上贯通的贯通腔(205)；以及滤膜(202)，叠置于承载件(201)上，并且覆盖贯通腔(205)的一个开口。承载件(201)还具有形成于其内的、在其厚度方向上贯通的贯通沟槽(203)，贯通沟槽(203)环绕贯通腔(205)并且与贯通腔(205)没有交集。本公开内容的第二方面还提供了一种MEMS传感器组件。

技术领域

本公开内容主要涉及微型过滤器，其可以是一种适用于声学设备的微型过滤器，用于过滤粉尘、颗粒和/或水等不希望进入声学设备内部的物质。本公开内容还涉及一种MEMS传感器组件。

背景技术

现今，诸如笔记本电脑、平板电脑之类的便携式计算设备十分普遍，诸如智能手机之类的便携式通信设备也是如此。然而，这样的设备中留给麦克风或扬声器的内部空间十分有限。因此，麦克风和扬声器尺寸越来越小，并且变得越来越紧凑。此外，由于麦克风和扬声器部署在紧凑的便携式设备中，它们通常需要靠近设备的相关的声学输入或输出端口，故而容易因颗粒和水的进入而造成其中的MEMS传感器组件的故障。

在现有技术中，颗粒过滤器(又称为PB芯片、微型过滤器)常常被部署在MEMS传感器组件中来防止某些类型的碎屑进入其中。为在MEMS传感器组件中安装微型过滤器，通常使用粘合剂。然而，现有的安装方式有必要在微型过滤器的侧面施加粘合剂，必然导致其安装面积的增大。

因此，亟需一种能够在保证安装牢固的同时减小安装面积的微型过滤器结构。

实用新型内容

本公开内容的一个目的是提供一种微型过滤器的新技术方案。

根据本公开内容的第一方面，提供了一种微型过滤器，包括：承载件，具有形成于其内的、在其厚度方向上贯通的贯通腔；以及滤膜，叠置于所述承载件上，并且覆盖所述贯通腔的一个开口；其特征在于，所述承载件还具有形成于其内的、在其厚度方向上贯通的贯通沟槽，所述贯通沟槽环绕所述贯通腔并且与所述贯通腔没有交集。

可选地，所述贯通沟槽的开口为连续的，并且环绕所述贯通腔的开口。

可选地，所述贯通沟槽的开口为不连续的，并且环绕所述贯通腔的开口。

可选地，所述贯通沟槽的开口为环形，且所述贯通腔的开口为圆形。

可选地，所述承载件由聚合物材料或金属材料制成。

根据本公开内容的第二方面，提供了一种MEMS传感器组件，其特征在于，包括：根据本公开内容的第一方面的微型过滤器；以及MEMS传感器，所述MEMS传感器上具有开口并且能够经由该开口进行感测；所述微型过滤器借助于在所述承载件的底面和所述贯通沟槽中施加的粘合剂而以覆盖所述开口的方式经由PCB而被安装到所述MEMS传感器上。

可选地，所述粘合剂为可固化粘合剂。

可选地，所述MEMS传感器组件是用在麦克风模组或麦克风芯片中的。

在本公开内容的一个实施例中，无须在承载件侧面施加粘合剂就能防止微型过滤器的横向滑动，从而在确保牢固安装的同时减小了安装面积。

通过以下参照附图对本公开内容的示例性实施例的详细描述，本公开内容的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本公开内容的实施例，并且连同其说明一起用于解释本公开内容的原理。

图1示意性地示出了现有技术的微型过滤器的剖视图；

图2示意性地示出了根据本公开内容的一个实施方案的微型过滤器的剖视图。

具体实施方式