[实用新型]一种曝光机用冷却水分配系统

权利要求书

1.一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：其包括歧管块，所述歧管块内部分别设有总进水通道和总回水通道，所述总进水通道和所述总回水通道的一端封闭，另一端分别安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有至少两个与所述总进水通道连通的分出水口，所述分出水口上密封安装有出水调节阀，所述出水调节阀上安装有流量计，所述流量计上安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有数量与所述分出水口一致的且与所述总回水通道连通的分回水口，所述分回水口上密封安装有回水调节阀，所述回水调节阀上安装有快插接头。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述分出水口与所述分回水口间隔设置。

3.根据权利要求1或2所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述分出水口与所述出水调节阀之间、所述分回水口与所述回水调节阀之间均通过密封管螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述分出水口的数量为六个。

5.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述快插接头可由快拧接头代替。

6.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述流量计为电子式流量计。

7.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述歧管块为不锈钢歧管块，所述出水调节阀和所述回水调节阀均为不锈钢球阀。