[实用新型]一种风量均匀的FFU装置有效

专利信息
申请号: 201921876290.0 申请日: 2019-11-04
公开(公告)号: CN211706235U 公开(公告)日: 2020-10-20
发明(设计)人: 王贝易 申请(专利权)人: 盛奕半导体科技(无锡)有限公司
主分类号: B01D46/42 分类号: B01D46/42
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 贾传美;赵华
地址: 214000 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 风量 均匀 ffu 装置
【说明书】:

本实用新型提供一种风量均匀的FFU装置,包括:气流分布器,所述气流分布器上设置有多个导流孔,所述多个导流孔,在位于气流分布器中心位置呈圆形分布,在圆形分布导流孔的外周圈呈矩形分布,通过对风扇防震固定器的镂空设计,减小了风机局部区域与周围区域风量的差异,使得FFU装置在狭小空间内便可提供相对稳定的风量,缩小了FFU装置的体积,同时也降低了生产成本;气流分布器采用了孔径风量控制法,采用不同孔径和不同排布方式,使得风机局部区域与周围区域风量的差异得到进一步的明显改善,整体风量控制更加均匀。

技术领域

本实用新型属于高效过滤器领域,尤其涉及一种风量均匀的FFU 装置。

背景技术

FFU(Fan Filter Units),风机过滤机组,其工作原理为FFU的离心风机将空气吸入FFU内,并通过FFU内的空气过滤器,将空气中的颗粒物吸附在过滤器中,已达到净化空气的效果,目前广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药等行业。

但是现有的FFU在提供风量时,由离心风机自身结构的限制,使得在较小密闭空间内形成的风量不稳定,以风机为中心,风量向外逐渐变大;并且现有的气流分布器孔径单一,直接导致输出的风量不均匀,影响了生产工艺。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供超薄的高效过滤器,通过以下技术方案来实现:包括:气流分布器,所述气流分布器上设置有多个导流孔,所述多个导流孔,在位于气流分布器中心位置呈圆形分布,在圆形分布导流孔的外周圈呈矩形分布。

优选的,呈圆形分布的多个导流孔设置有多组,不同组的导流孔孔径不同。

优选的,呈矩形分布的多个导流孔设置有多组,不同组的导流孔孔径不完全相同。

优选的,还包括风机系统,所述风机系统安装在气流分布器的上方。

优选的,所述风机系统安装于气流分布器的中心位置,所述风机系统包括:电机、离心扇叶和风扇防震固定器,电机设置在离心扇叶中心位置且与离心扇叶电连接,离心扇叶安装在风扇防震固定器上,风扇防震固定器安装在气流分布器上方。

优选的,风机系统安装于气流分布器呈圆形分布的多个导流孔的上方。

优选的,风扇防震固定器采用C型钢,电机和离心扇叶安装在C 型钢的腔体内,风扇防震固定器的侧面设置有镂空。

优选的,还包括有初效过滤器和高效过滤器,初效过滤器安装在机身顶部,位于风机系统的正上方,高效过滤器安装在机身的底部,位于气流分布器的正下方。

本实用新型的有益效果:通过对风扇防震固定器的镂空设计,减小了风机局部区域与周围区域风量的差异,使得FFU装置在狭小空间内便可提供相对稳定的风量,缩小了FFU装置的体积,同时也降低了生产成本;气流分布器采用了孔径风量控制法,采用不同孔径和不同排布方式,使得风机局部区域与周围区域风量的差异得到进一步的明显改善,整体风量控制更加均匀。

附图说明

图1是本专利申请的结构示意图;

图2为图1的主视图;

图3为图2的A-A剖视图;

图4为分机系统的结构示意图;

图5为气流分布器的结构示意图;

图中,1、初效过滤器;2、整流罩;3、风机系统;4、风扇防震固定器;5、气流分布器;6、高效过滤器;7、机身。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

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