[实用新型]一种双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达及扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，包括第一压电体、第二压电体、基座，所述第一压电体与第二压电体按照形变方向平行固定于基座，其特征是所述第一压电体与第二压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成双驱动压电片，

还包括转盘片、转轴、第一压臂、第二压臂，

所述转轴垂直于转盘片的盘面并固定于转盘片中心，构成共轴旋转结构，

所述第一压臂与第二压臂的一端分别固定于第一压电体与第二压电体的自由端，第一压臂与第二压臂平行并都在所述双驱动压电片的同一侧，且都平行于第一压电体与第二压电体的形变方向，第一压臂与第二压臂的另一端都指向基座，并分别作为夹持端，弹性地夹持住所述转盘片的边缘，

所述第一压电体和第二压电体的形变方向以及第一压臂和第二压臂均平行于转盘片的盘面，所述转轴为对外的力矩输出轴。

2.根据权利要求1所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，其特征是所述第一压电体和第二压电体互相靠近的一边各带有一个缺口，这两个缺口围合成孔型，称为转轴孔，所述转轴穿过转轴孔对外输出力矩。

3.根据权利要求2所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，其特征是还包括第三压电体、第四压电体、第三压臂、第四压臂，所述第三压电体与第四压电体按照形变方向平行固定于基座，第一压电体、第二压电体、第三压电体与第四压电体的形变方向均相同，

所述第三压电体与第四压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成第二双驱动压电片，所述第二双驱动压电片平行于所述双驱动压电片和转盘片，且处于转盘片的外侧，

所述第三压臂与第四压臂的一端分别固定于第三压电体与第四压电体的自由端，第三压臂和第四压臂平行且平行于第三压电体和第四压电体的形变方向，第三压臂和第四压臂分别处于第三压电体和第四压电体的内侧，第三压臂、第四压臂的另一端都指向基座，并分别作为夹持端，弹性地夹持住所述转盘片的边缘，

所述第三压电体和第四压电体的形变方向以及第三压臂和第四压臂均平行于转盘片的盘面。

4.根据权利要求3所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，其特征是所述第三压臂和第四压臂的自由端分别与第一压臂和第二压臂的自由端固定连接。

5.根据权利要求3或4所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，其特征是所述第三压电体与第四压电体互相靠近的一边各带有一个缺口，这两个缺口围合成孔型，称为第二转轴孔，所述转轴穿过第二转轴孔对外输出力矩。

6.根据权利要求2所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，其特征是还包括第三压电体、第四压电体、第三压臂、第四压臂、第二转盘片，所述第三压电体与第四压电体按照形变方向平行固定于基座，第一压电体、第二压电体、第三压电体与第四压电体的形变方向均相同，

所述第三压电体、第四压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成第二双驱动压电片，所述第二双驱动压电片处于所述双驱动压电片的外侧，且平行于所述双驱动压电片，

所述第三压电体和第四压电体互相靠近的一边各带有一个缺口，这两个缺口围合成孔型，称为第二转轴孔，

所述转轴穿过第二转轴孔并与处于第二双驱动压电片外侧的第二转盘片固定，固定点处于第二转盘片的中心，转轴与第二转盘片的盘面垂直，

所述第三压臂和第四压臂的一端分别固定于第三压电体和第四压电体的自由端，第三压臂和第四压臂平行且平行于第三压电体和第四压电体的形变方向，第三压臂和第四压臂分别处于第三压电体和第四压电体的外侧，所述第三压臂和第四压臂的另一端都指向基座，并分别作为夹持端，弹性地夹持住所述第二转盘片的边缘，

所述第三压电体和第四压电体的形变方向以及第三压臂、第四压臂和第二转盘片均平行于所述转盘片的盘面。

7.根据权利要求1、2、3、4或6所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，其特征是还包括前固定片和后固定片，所述前固定片一端固定于基座，另一端为自由端，所述后固定片一端固定于基座，另一端为自由端，前固定片和后固定片的自由端分别与所述转轴和转盘片中心弹性夹持，形成配合所述转盘片绕转轴旋转的支撑结构。