[实用新型]光学指纹器件有效

专利信息
申请号: 201921879428.2 申请日: 2019-11-04
公开(公告)号: CN211182206U 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 夏欢;马小妹;杜柯 申请(专利权)人: 格科微电子(上海)有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;G06K9/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 光学 指纹 器件
【权利要求书】:

1.一种光学指纹器件,其特征在于,包括:

第一面上形成有图像传感器的第一晶圆;

设置于第一晶圆的第一面上的由第二晶圆形成的挡光结构;

粘合于挡光结构上的透光层;

形成于透光层上的若干微透镜。

2.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于第一晶圆的第一面或第二晶圆的表面的红外截止滤光膜。

3.根据权利要求2所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于第二晶圆的表面与红外截止滤光膜之间的二氧化硅层。

4.据权利要求3所述的光学指纹器件,其特征在于,所述二氧化硅层的厚度大于等于100nm。

5.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于第一晶圆的第一面上的焊盘区域,所述焊盘区域的上方不存在红外截止滤光膜、第二晶圆、透光层,以暴露出焊盘区域。

6.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于第一晶圆的第一面上的焊盘区域,所述焊盘区域由第一晶圆的第二面引出。

7.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于所述挡光结构表面的第一挡光层。

8.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于所述微透镜之间的透明侧墙;以及形成于所述透明侧墙上的第二挡光层。

9.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:直接形成于所述微透镜之间的第二挡光层。

10.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,所述透光层为有机的透光膜或玻璃。

11.根据权利要求10所述的光学指纹器件,其特征在于,所述有机的透光膜为干膜。

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