[实用新型]光学指纹器件有效
申请号: | 201921879428.2 | 申请日: | 2019-11-04 |
公开(公告)号: | CN211182206U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 夏欢;马小妹;杜柯 | 申请(专利权)人: | 格科微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;G06K9/00 |
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地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 指纹 器件 | ||
1.一种光学指纹器件,其特征在于,包括:
第一面上形成有图像传感器的第一晶圆;
设置于第一晶圆的第一面上的由第二晶圆形成的挡光结构;
粘合于挡光结构上的透光层;
形成于透光层上的若干微透镜。
2.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于第一晶圆的第一面或第二晶圆的表面的红外截止滤光膜。
3.根据权利要求2所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于第二晶圆的表面与红外截止滤光膜之间的二氧化硅层。
4.据权利要求3所述的光学指纹器件,其特征在于,所述二氧化硅层的厚度大于等于100nm。
5.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于第一晶圆的第一面上的焊盘区域,所述焊盘区域的上方不存在红外截止滤光膜、第二晶圆、透光层,以暴露出焊盘区域。
6.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于第一晶圆的第一面上的焊盘区域,所述焊盘区域由第一晶圆的第二面引出。
7.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于所述挡光结构表面的第一挡光层。
8.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:形成于所述微透镜之间的透明侧墙;以及形成于所述透明侧墙上的第二挡光层。
9.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,还包括:直接形成于所述微透镜之间的第二挡光层。
10.根据权利要求1所述的光学指纹器件,其特征在于,所述透光层为有机的透光膜或玻璃。
11.根据权利要求10所述的光学指纹器件,其特征在于,所述有机的透光膜为干膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的