[实用新型]热交换装置

权利要求书

1.一种热交换装置，其特征在于：所述热交换装置上连接有微蚀刻主槽，所述热交换装置设置有第一输入口、循环口和输出口，所述热交换装置包括降温桶、第一回抽泵涌、第二回抽泵涌和循环泵涌，所述降温桶内部分别设有位于所述降温桶中心位置的低温槽和围绕低温槽设置的高温槽，所述第一输入口和所述输出口设置在所述低温槽上，所述低温槽上还设置有第三输入口，所述循环口设置在所述高温槽上，所述高温槽上还设置有第二输入口；

所述微蚀刻主槽通过第一管道与所述第二输入口连接，所述第一回抽泵涌设置于所述第一管道上，所述输出口与第二管道连接，所述第二管道与防堵塞喷淋系统连接，所述第二回抽泵涌设置在所述第二管道上，所述第二管道通过循环管道与所述第三输入口连接，所述循环泵涌设置于所述循环管道上，在所述第二管道上设置有回流管道，所述回流管道与所述微蚀刻主槽连接。

2.根据权利要求1所述的热交换装置，其特征在于：所述循环口位于所述高温槽的侧壁下方，所述输出口位于所述低温槽的侧壁下方。

3.根据权利要求1所述的热交换装置，其特征在于：所述第一输入口与溢流入水管连接，所述溢流入水管与过滤系统连接。

4.根据权利要求1所述的热交换装置，其特征在于：所述循环口上连接有第三管道，所述第三管道与结晶桶连接。

5.根据权利要求4所述的热交换装置，其特征在于：所述第三管道上位于所述结晶桶与所述循环口之间设有第三回抽泵涌。

6.根据权利要求1所述的热交换装置，其特征在于：所述循环管道位于所述第二管道上所述输出口与所述第二回抽泵涌之间。

7.根据权利要求1所述的热交换装置，其特征在于：所述回流管道设置于所述第二回抽泵涌与所述防堵塞喷淋系统之间。

8.根据权利要求1～7任一项所述的热交换装置，其特征在于：所述降温桶与所述低温槽均为圆柱状，所述低温槽的半径小于所述降温桶的半径。

9.根据权利要求1～7任一项所述的热交换装置，其特征在于：所述第一管道与所述微蚀刻主槽的连接处位于所述微蚀刻主槽的下方。

10.根据权利要求1～7任一项所述的热交换装置，其特征在于：所述回流管道与所述微蚀刻主槽的连接处位于所述微蚀刻主槽的上方。