[实用新型]一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片

说明书

本实用新型公开了一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片，包括衬底和依次设置在衬底上侧的振膜与背极板，振膜上设置有泄气阀，背极板上与振膜上的泄气阀相对应的位置设置有泄气孔，所述的泄气孔远离振膜的一侧上设置有阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件。本实用新型通过设置阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件，当泄气阀受到气流冲击时，泄气阀打开，但是由于遮挡组件的设置，泄气阀不能完全伸展开，微尘由于受到泄气阀和遮挡组件的共同作用，被阻挡在背极板的外侧，有效防止微尘进入到麦克风的内部。本实用新型的结构简单小巧，在保证抗吹风能力的同时具有良好的防尘能力。

技术领域

本实用新型涉及麦克风技术领域，具体涉及一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片。

背景技术

许多微机电麦克风在振膜上都具有泄气阀结构设计，且在背极板对应位置开孔，让泄气阀在遭受吹气压力时能毫无阻档的完整开启，产生泄气路径的同时降低振膜承受的压力。但是当泄气阀开启后的开口大小大于空气中微尘粒子的时候，微尘粒子会因此容易进入麦克风内部，有一定机会落尘在麦克风上，甚至掉落在振膜与背极板间，影响产品性能与可靠性。

因此，有必要提出一种改进，以克服现有技术的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决现有技术中的问题，提供一种兼顾泄气和防止微尘粒子进入到麦克风内部的防尘抗吹气微机电麦克风芯片。

本实用新型的技术方案是：

一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片，包括衬底和依次设置在衬底上侧的振膜与背极板，振膜上设置有泄气阀，背极板上与振膜上的泄气阀相对应的位置设置有泄气孔，所述的泄气孔远离振膜的一侧上设置有阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件。

作为一种优选的技术方案，所述的遮挡组件包括用于阻碍泄气阀顶部完全伸展开的顶部遮挡板。

作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板与背极板之间设置有间隔，顶部遮挡板上至少有一侧边缘通过延长板连接在背极板上。

作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板的沿泄气阀打开方向且背离泄气阀端部的一端通过延长板连接在背极板上。

作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板的沿泄气阀打开方向且靠近泄气阀端部的一端通过延长板连接在背极板上。

作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板的沿泄气阀打开方向的两端均通过延长板连接在背极板上。

作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板沿垂直于泄气阀打开方向的两端均通过延长板连接在背极板上。

作为一种优选的技术方案，所述的遮挡组件包括用于阻碍泄气阀中部完全伸展开的中部遮挡板，所述的中部遮挡板平贴于背极板上。

作为一种优选的技术方案，所述的中部遮挡板背离泄气阀端部的一端连接在背极板上，且中部遮挡板的另一端与背极板之间存在间隔。

作为一种优选的技术方案，所述的中部遮挡板沿垂直于泄气阀打开方向的两端连接在背极板上，且中部遮挡板的两侧与背极板之间存在间隔。

本实用新型还提供一种电子设备，包括上述所述的防尘抗吹气微机电麦克风芯片。有益效果：本实用新型通过设置阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件，当泄气阀受到气流冲击时，泄气阀打开，但是由于遮挡组件的设置，泄气阀不能完全伸展开，微尘由于受到泄气阀和遮挡组件的共同作用，被阻挡在背极板的外侧，有效防止微尘进入到麦克风的内部。本实用新型的结构简单小巧，在保证抗吹风能力的同时具有良好的防尘能力。

附图说明

图1 为泄气阀的结构示意图；

图2 为实施例一的剖视示意图；

图3为实施例一的俯视示意图；