[实用新型]合成炉内硅粉清理设备

说明书

本实用新型公开了合成炉内硅粉清理设备，属于合成炉清理技术领域，其主要设置了为挠性软管的延伸软管，及真空泵来对合成炉内的硅粉进行清理，延伸软管可弯曲并伸入至合成炉内的各个死角空间之内，相较于传统的人工铲除作业，更为高效。

技术领域

本实用新型涉及合成炉清理技术领域，具体而言，涉及合成炉内硅粉清理设备。

背景技术

在部分涉及合成炉生产多晶硅的工艺当中，合成炉的炉体在后期会残留有大量的硅粉，影响合成炉反应的正常进行。目前，针对于合成炉炉体残留硅粉的问题，主要采用的解决方案是：将合成炉进行置换，并让人员进入至合成炉内人工进行清理铲除。显然的，这种方式清理速度较慢且存在着较高的安全风险。如何较为高效的对合成炉内的硅粉进行清理，成为一个亟待解决的技术问题。

发明内容

综上所述，本实用新型所解决的技术问题是：提供一种用于合成炉内硅粉清理的设备，其可较为高效地对残留于合成炉内的硅粉进行清理。

而本实用新型为解决上述技术问题所采用的方案为：

合成炉内硅粉清理设备，包括真空泵，以及其出口端与真空泵的进口端相连通的延伸软管，所述延伸软管主要由若干个过滤管以可拆卸的形式依次首尾相连所构成，所述过滤管内设有硅粉过滤结构，所述过滤管为挠性管。

进一步的，所述硅粉过滤结构包括有同轴的穿入于过滤管内的支撑柱，以及多个沿支撑柱的轴向依次排布并套在支撑柱上的隔离栓；所述隔离栓的外周与过滤管的内周之间配合接触，以将过滤管的内腔分隔为多个沿过滤管的轴向依次排布且相互隔断的积存腔，所述隔离栓上设置有连通其两侧的积存腔的通气通道，相邻两个隔离栓上的通气通道沿着支撑柱的周向相互错开设置。

进一步的，所述通气通道呈圆孔状。

进一步的，所述隔离栓的外周壁与过滤管内周之间滑动配合，所述隔离栓和支撑柱之间则固定连接，以使隔离栓和支撑柱能从过滤管中脱出。

进一步的，所述隔离栓呈两端外径较小，而中间部位外径较大的形状，所述隔离栓的中间部位用于与过滤管的内周配合接触。

进一步的，所述隔离栓的中间部位套设有用于与过滤管形成气密配合的密封圈。

进一步的，所述过滤管的长度大于支撑柱的长度。

进一步的，所述过滤管的首尾两端均构成有金属制成的连接衬板，相邻的两连接衬板通过螺栓连接在一起。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果为：

(1)本实用新型设置了为挠性软管的延伸软管，及真空泵来对合成炉内的硅粉进行清理，延伸软管可弯曲并伸入至合成炉内的各个死角空间之内，相较于传统的人工铲除作业，更为高效。

(2)同时，本实用新型可将真空泵抽取的硅粉集中于延伸软管的过滤管当中，在后期对硅粉进行回收时，仅需要更替或过滤管即可，降低了真空泵的停机频率，从而提高了清理效率。

(3)本实用新型通过在过滤管内布置支撑柱和隔离栓，以形成若干相互隔断的积存腔，两侧的积存腔仅通过布置于两者之间的隔离栓上的通气通道而相互连通，以对进入至过滤管内的硅粉进行有效的拦截和过滤。

附图说明

图1为本实用新型所提供的实施例1的结构示意图；

图2为本实用新型所提供的实施例1中过滤管的结构示意图；

图3为图2中A-A处的截面示意图。

【具体符号说明】

1-真空泵，2-延伸软管，3-过滤管，4-支撑柱，5-隔离栓，6-积存腔，7-通气通道，8-连接衬板，9-密封圈。

具体实施方式