[实用新型]一种密集孔激光精密加工装置

权利要求书

1.一种密集孔激光精密加工装置，包括激光加工头(1)、激光发生器(2)、执行机构和控制机构(4)，所述激光加工头(1)安装在所述执行机构上，所述激光发生器(2)向所述激光加工头(1)输入激光，所述控制机构(4)分别控制所述激光加工头(1)、所述执行机构和所述激光发生器(2)；其特征在于：

所述激光加工头(1)包括导光光路和喷嘴(11)，所述激光发生器(2)输入的激光经所述导光光路聚焦形成照射基材的激光光束，所述喷嘴(11)用于喷射高速射流吹扫基材被所述激光光束熔化后残余的熔渣；

所述执行机构包括长程运动机构(31)和微动机构(32)，激光加工头(1)安装在微动机构(32)上，微动机构(32)安装在长程运动机构(31)上，所述长程运动机构(31)用于移动所述激光加工头(1)使激光光束定位至基材上待加工孔的孔中心位置，所述微动机构(32)用于移动所述激光加工头(1)使激光光束环绕所述孔中心按照待加工孔的孔型扫描形成孔边界并按照待加工孔的孔型螺旋下降扫描照射基材使孔成型。

2.根据权利要求1所述的一种密集孔激光精密加工装置，其特征在于：所述喷嘴(11)具有多个喷口(111)，多个所述喷口(111)喷射方向汇聚于一点。

3.根据权利要求1所述的一种密集孔激光精密加工装置，其特征在于：所述激光加工头(1)还包括光强探测器(12)，所述光强探测器(12)用于检测基材上所述激光光束照射位置的光强，并将光强信号反馈至所述控制机构(4)。

4.根据权利要求3所述的一种密集孔激光精密加工装置，其特征在于：所述激光加工头(1)还包括激光测距单元(13)和/或同轴CCD摄像单元(14)，用于实时测量所述激光光束在基材上的当前打孔深度并将数据反馈至所述控制机构(4)。

5.根据权利要求1所述的一种密集孔激光精密加工装置，其特征在于：所述长程运动机构(31)为多轴机器人或桁架机床。

6.根据权利要求1所述的一种密集孔激光精密加工装置，其特征在于：所述微动机构(32)为微动机械手。