[实用新型]一种扩膜机用转盘平台有效
申请号: | 201921887871.4 | 申请日: | 2019-11-05 |
公开(公告)号: | CN210378991U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 梅宇峰 | 申请(专利权)人: | 品捷电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/48;B08B5/02 |
代理公司: | 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) 32367 | 代理人: | 闵东 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩膜机用 转盘 平台 | ||
1.一种扩膜机用转盘平台,包括扩膜机(1)和转接管(15),其特征在于:所述扩膜机(1)的平台内侧设有电动伸缩杆(2),且电动伸缩杆(2)与扩膜机(1)固定连接,所述电动伸缩杆(2)顶端面固定连接有导热块(3),所述导热块(3)顶端面固定连接有转盘(4),所述导热块(3)顶端面内侧固定连接有温感器(5),所述导热块(3)左端连通有出气管(6),且出气管(6)贯穿扩膜机(1)的平台,所述出气管(6)与扩膜机(1)的平台固定连接,所述导热块(3)右端面连通有进气管(7),且进气管(7)贯穿扩膜机(1)的平台,所述进气管(7)与扩膜机(1)的平台固定连接,所述扩膜机(1)的平台顶端面左侧设有呈左右设置的控制器(8)和信号灯(9),所述扩膜机(1)的平台与控制器(8)和信号灯(9)固定连接,所述扩膜机(1)的右端立柱外侧设有转动架(10),且转动架(10)与扩膜机(1)的右端立柱转动连接,所述转动架(10)底端右侧开设有滑槽(11),所述转动架(10)内侧顶端设有气泵(14),且气泵(14)与转动架(10)连通,所述气泵(14)与转接管(15)连通。
2.根据权利要求1所述的一种扩膜机用转盘平台,其特征在于:所述扩膜机(1)的平台顶端右侧设有电机(12),且电机(12)与扩膜机(1)的平台固定连接,所述电机(12)的主轴末端固定连接有转动杆(13),且转动杆(13)与滑槽(11)的内壁滑动连接,所述转动杆(13)呈L状设置。
3.根据权利要求1所述的一种扩膜机用转盘平台,其特征在于:所述转接管(15)的左上方连通有喷头(16),且喷头(16)贯穿转动架(10),所述喷头(16)与转动架(10)固定连接,所述喷头(16)的倾斜角度为45°,所述喷头(16)正对转盘(4),所述转接管(15)内侧设有电控阀(17),且电控阀(17)与转接管(15)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种扩膜机用转盘平台,其特征在于:所述转动架(10)内侧底端设有固定箱(18),且固定箱(18)与转动架(10)固定连接,所述固定箱(18)与转接管(15)和进气管(7)连通,所述固定箱(18)内侧设有电加热管(19),且电加热管(19)与固定箱(18)固定连接,所述电加热管(19)呈环状设置。
5.根据权利要求1所述的一种扩膜机用转盘平台,其特征在于:所述转动架(10)右端面顶端设有挡板(20),且挡板(20)贯穿转动架(10),所述挡板(20)与转动架(10)滑动连接,所述挡板(20)底端面滑动连接有过滤网(21),且过滤网(21)与转动架(10)滑动连接,所述过滤网(21)在气泵(14)正右侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造