[实用新型]可填充式板型过滤器有效

专利信息
申请号: 201921904868.9 申请日: 2019-11-06
公开(公告)号: CN212068071U 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 林盈直 申请(专利权)人: 正丽科技股份有限公司
主分类号: B01D46/10 分类号: B01D46/10;B01D53/04
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 李林
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 填充 式板型 过滤器
【说明书】:

本实用新型是一种可填充式板型过滤器,包括:一板型盒体,具有一开口且内部形成一容置空间,该容置空间中可装填污染物质吸附材料,在该容置空间的进排气侧面的内相对应设置有复数个连接单元;二薄层式过滤材分别贴靠地装设在该板型盒体的进排气侧面的内部,并对应该复数个连接单元形成复数个孔;其中,本实用新型的连接单元,系刻意设置在不临靠该板型盒体内部的角落及边缘的位置;如此,可让所述的这些孔全周包围各该连接单元外围,且连接单元在接近板型盒体内面的基部直径设为各大于各孔直径,使得该薄层式过滤材,可凭借所述的这些孔紧密套结于各连接单元基部外围的作用,紧密贴靠于板型盒体内面与薄层式过滤材之间的空隙向外泄漏。

技术领域

本实用新型涉及可填充式板型过滤器,尤指应用于电子制造业的无尘室的板型过滤结构,可在其内部装填各种吸附剂以利于依需求加以抽换使用的吸附式过滤装置,并可视空间需求以活动堆迭组设多种过滤效能。

背景技术

在半导体制程中,为了维持制程合格率,通常需于外气空调箱及气流循环区加装过滤网装置,以降低外部空气或无尘室内空气的微污染物质(AMC: Airborne MolecularContamination),像是含硫物质、酸性物质、碱性的物质、含低沸点的挥发性有机化合物(VOCs:Volatile Organic Compounds)或是含高沸点的挥发性有机化合物(VOCs)等。

像这种用于无尘室、空调设备、燃气涡轮机或是蒸汽涡轮机的进气口所加装的过滤网装置,主要系将装填有多种过滤滤材的复数个板型过滤器单元,分别装设进可支持该复数个板型过滤器单元的容置体内,让上述气体逐层经过各个过滤器单元,来实现空气过滤的目的;其中,过滤材料可吸附化学废气,像是酸性物质、碱性物质、挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds,VOCs) 等等。

然而,现有的板型过滤器因其结构设计具固定的尺寸,且在使用过程该化学废气通过过滤器的部位,常较集中于板体接近中央处,因此使用一段时日后,过滤材料吸附的化学物质,容易让过滤器中央因承载较大重量而逐渐凹陷,该凹陷情况将使板体内的过滤材料更集中到过滤器之中央,而造成过滤材料分布不均匀,而影响过滤的效果。

实用新型内容

因此,本案的实用新型设计人有鉴于上述仍具有诸多的缺点,即极力加以研究实用新型,并在此前研发成功中国台湾专利申请第101217804号「填充式化学过滤器」加以改善,惟仍有不织布等薄层式过滤材与过滤器板体内面间容易产生间隙,使内部过滤材料容易由此间隙掉出的缺失,有待改进。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:

一种可填充式板型过滤器,其特征在于,包括:

至少二盒体框,具有一开口,内部形成一容置空间,能够装填过滤材料,盒体框之间的该容置空间内设置有复数个连接单元,该盒体框的进排气侧面形成有网状结构;

薄层式过滤材,分别装设在盒体框进排气侧面的内面,并对应该复数个连接单元而形成复数个孔;该孔的直径小于或等于该连接单元与接近该盒体框进排气侧内面的基部的外径,且该孔全周包围套合在该连接单元基部的外围;

一盖体,盖住该开口。

所述的可填充式板型过滤器,其中:该孔的直径大于或等于该连接单元的末端的外径。

所述的可填充式板型过滤器,其中,该盒体框的网状结构的网目形状为圆形、椭圆形、正方形、长方形、菱形、三角形及其他多边形之中的一种或组合。

所述的可填充式板型过滤器,其中,盒体框的连接单元为圆形、椭圆形、正方形、长方形、菱形、三角形及其他多边形断面的柱状体或锥状体。

所述的可填充式板型过滤器,其中,该盒体框分为一上框及一下框,该上框及该下框之间凭借该复数个连接单元连接在一起。

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