[实用新型]一种环保型硅片清洗机

权利要求书

1.一种环保型硅片清洗机，包括壳体（1）、支撑脚（2）和上盖（3），上盖（3）设置在壳体（1）上端，支撑脚（2）固定设置在壳体（1）下端，其特征在于：所述壳体（1）底端固定设置有搅拌电机（4），所述搅拌电机（4）的输出端贯穿壳体（1）至壳体（1）内部，且输出端与硅片固定装置（5）相连，所述硅片固定装置（5）包括前夹板（5.1）、后夹板（5.2）、连接柱（5.3）、卡槽（5.4）、锁耳（5.5）和锁扣（5.6），所述前夹板（5.1）与后夹板（5.2）相铰接，前夹板（5.1）尺寸与后夹板（5.2）相同；所述锁耳（5.5）焊接在前夹板（5.1）的两侧；所述锁扣（5.6）焊接在后夹板（5.2）的两侧，且与锁耳（5.5）相匹配；所述连接柱（5.3）杆焊接在前夹板（5.1）中部；所述卡槽（5.4）采用多个，焊接在前夹板（5.1）的后侧，与硅片尺寸匹配；所述前夹板（5.1）和后夹板（5.2）均采用镂空结构，所述壳体（1）内壁四周固定设置有电加热器（6），所述壳体（1）内壁底部固定设置有超声波发生器（7），所述壳体（1）侧壁上端设置有进水管（8），所述进水管（8）向对面的壳体（1）上还设置有排气管（9），所述排气管（9）与废气处理装置（11）相连，所述壳体（1）侧壁下端设置有排水管（10）。

2.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗机，其特征在于：所述废气处理装置（11）包括下部的储液箱（11.1）和上部的喷淋吸收塔（11.2），所述储液箱（11.1）内盛装有吸收液，所述储液箱（11.1）与喷淋吸收塔（11.2）的内部相连通，所述喷淋吸收塔（11.2）从下而上依次为进气室（11.3）、气液接触填料层（11.4）、喷淋层（11.5）、旋流除雾板（11.6）、除雾填料层（11.7）和丝网除雾层（11.8），所述进气室（11.3）的一侧设有进气口（11.9），所述进气口（11.9）与排气管（9）相连，所述喷淋吸收塔（11.2）的顶部设有排空管（11.10），所述喷淋层（11.5）的上部设有吸收液喷头（11.11），所述储液箱（11.1）内的吸收液经循环泵（11.12）输送至吸收液喷头（11.11）。

3.如权利要求2所述的一种环保型硅片清洗机，其特征在于：所述气液接触填料层（11.4）和除雾填料层（11.7）内填充的填料为聚乙烯制成的多面空心球。

4.如权利要求2所述的一种环保型硅片清洗机，其特征在于：所述丝网除雾层（11.8）内填充的填料为不锈钢丝网或铝合金丝网。

5.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗机，其特征在于：所述排气管（9）下方的壳体（1）内壁上设置有液位计（12）。

6.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗机，其特征在于：所述连接柱（5.3）内部设置有外螺纹。

7.如权利要求6所述的一种环保型硅片清洗机，其特征在于：所述搅拌电机（4）的输出端上设置有与连接柱（5.3）内部内螺纹相匹配的外螺纹。

8.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗机，其特征在于：所述上盖（3）上设置有把手（13）。