[实用新型]一种金刚石薄膜生长气路结构

权利要求书

1.一种金刚石薄膜生长气路结构，包括金刚石生长室(1)，其特征在于：所述金刚石生长室(1)的上方设置有第一连接管(2),所述第一连接管(2)的左右两侧均连通有第二连接管(3)，右侧的所述第二连接管(3)上设置有截止阀A(4)，所述第二连接管(3)的底端连通有CHO液态源容器(5)，所述CHO液态源容器(5)内设置有CHO液态源(6)，所述CHO液态源容器(5)的一侧设置有氢气气源(7)，所述氢气气源(7)与CHO液态源容器(5)之间通过第三连接管(8)连接，所述第三连接管(8)上设置有氢气流量计(9)；

左侧的所述第二连接管(3)上设置有截止阀B(15)，所述金刚石生长室(1)的右侧从左至右依次设置有甲烷气源(10)、氩气气源(11)和氢气气源(12)，所述甲烷气源(10)、氩气气源(11)和氢气气源(12)上均连通有第四连接管(13)，三个所述第四连接管(13)上均上有甲烷流量计(14)，三个所述第四连接管(13)的上端分别与左侧的第二连接管(3)的底端相连通。