[实用新型]一种用于显微光刻的微缩投影装置

权利要求书

1.一种用于显微光刻的微缩投影装置，包括投射腔体(1)、曲面镜组(2)、激光器(8)、动力腔体(10)和凹面镜组(11)，其特征在于：所述投射腔体(1)内部的中心位置处设有凹面镜组(11)，且凹面镜组(11)一侧的投射腔体(1)内部设有曲面镜组(2)，并且曲面镜组(2)远离凹面镜组(11)一侧的投射腔体(1)内部设有正透镜组(12)，所述投射腔体(1)一侧的外壁上固定有连接筒体(3)，连接筒体(3)的一端延伸至投射腔体(1)的内部，且连接筒体(3)远离投射腔体(1)一侧的外壁上固定有动力腔体(10)，动力腔体(10)的一端与连接筒体(3)的一端相连通，并且动力腔体(10)内部的一侧设有激光器(8)，所述激光器(8)一侧的外壁上设有螺旋结构(7)，且螺旋结构(7)两侧的动力腔体(10)外壁上皆设有接口(20)。

2.根据权利要求1所述的一种用于显微光刻的微缩投影装置，其特征在于：所述螺旋结构(7)的内部依次设有定位螺帽(701)、螺旋柄(702)以及螺旋杆(703)，所述激光器(8)一侧的外壁上铰接有螺旋杆(703)，螺旋杆(703)的一端延伸至动力腔体(10)的外部，且螺旋杆(703)远离激光器(8)的一端安装有螺旋柄(702)，并且螺旋杆(703)表面的动力腔体(10)内壁上螺纹连接有定位螺帽(701)，定位螺帽(701)的一端与动力腔体(10)的内壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于显微光刻的微缩投影装置，其特征在于：所述螺旋结构(7)两端的动力腔体(10)内壁上皆固定有集热板(16)，且集热板(16)一侧的外壁上固定有散热翅柱(18)，散热翅柱(18)远离集热板(16)的一端延伸至动力腔体(10)的外部，并且散热翅柱(18)表面的动力腔体(10)内部缠绕有两组散热翅环(17)。

4.根据权利要求1所述的一种用于显微光刻的微缩投影装置，其特征在于：所述激光器(8)两端的动力腔体(10)内壁上皆设有限位槽(6)，且限位槽(6)内部的一侧设有限位块(5)，限位块(5)的一端延伸至限位槽(6)的外部并与激光器(8)的外壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于显微光刻的微缩投影装置，其特征在于：所述动力腔体(10)靠近连接筒体(3)一侧的外壁上设有两组散热通孔(9)，且散热通孔(9)内部的中心位置处皆设有防尘网(4)。

6.根据权利要求1所述的一种用于显微光刻的微缩投影装置，其特征在于：所述正透镜组(12)远离曲面镜组(2)一侧的投射腔体(1)内壁上设有两组限位环(15)，且限位环(15)远离正透镜组(12)一侧的投射腔体(1)内壁上皆固定有定位框(13)，并且相邻定位框(13)之间的投射腔体(1)内部安装有防尘晶片(14)，防尘晶片(14)的两侧皆设有契合槽(19)。