[实用新型]微粒检测模块

权利要求书

1.一种微粒检测模块，其特征在于，包含：

一基座，具有：

一第一表面；

一第二表面，相对于该第一表面；

一激光设置区，自该第一表面朝向该第二表面挖空形成；

一进气沟槽，自第二表面凹陷形成，且邻近于该激光设置区，该进气沟槽设有一进气口，连通该基座外部，以及两侧壁贯穿一透光窗口，与该激光设置区连通；

一导气组件承载区，自该第二表面凹陷形成，并连通该进气沟槽，且于底面贯通一通气孔；以及

一出气沟槽，自该第一表面对应到该导气组件承载区底面处凹陷，并于该第一表面未对应到该导气组件承载区的区域自该第一表面朝向该第二表面挖空而形成，与该通气孔连通，并设有一出气口，连通该基座外部；

一压电致动器，容设于该导气组件承载区；

一驱动电路板，封盖贴合该基座的该第二表面上；

一激光组件，定位设置于该驱动电路板上与其电性连接，并对应容设于该激光设置区中，且所发射出的一光束路径穿过该透光窗口并与该进气沟槽形成正交方向；

一微粒传感器，定位设置于该驱动电路板上与其电性连接，并对应容设于该进气沟槽与该激光组件所投射的该光束路径的正交方向位置处，以对通过该进气沟槽且受该激光组件所投射光束照射的微粒做检测；以及

一外盖，罩盖于该基座的该第一表面上，且具有一侧板，该侧板对应到该基座的该进气口及该出气口的位置分别设有一进气框口及一出气框口；

其中，而该基座、该压电致动器、该驱动电路板、该激光组件、该微粒传感器及该外盖是以微小材料制出的一模块结构，且该模块结构具有一长度、一宽度及一高度，其中，该基座的该第一表面上罩盖该外盖，该第二表面上封盖该驱动电路板，以使该进气沟槽定义出一进气路径，该出气沟槽定义出一出气路径，借以使该压电致动器加速导引外部气体由该进气框口进入该进气沟槽所定义的该进气路径，并通过该微粒传感器上，以检测出气体中的微粒浓度，且气体通过该压电致动器导送，更由该通气孔排入该出气沟槽所定义的该出气路径，最后由该出气框口排出。

2.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，该模块结构的该长度介于1微米至999微米、该宽度介于1微米至999微米以及该高度介于1微米至999微米时所构成的体积。

3.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，该模块结构的该长度介于1纳米至999纳米、该宽度介于1纳米至999纳米以及该高度介于1纳米至999纳米时所构成的体积。

4.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，该导气组件承载区的四个角分别具有一定位缺口，供该压电致动器予以嵌入并定位。

5.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，该基座更包含一光陷阱区，自该第一表面朝该第二表面挖空形成且对应于该激光设置区，该光陷阱区设有具斜锥面的一光陷阱结构，设置对应到该光束路径。

6.如权利要求5所述的微粒检测模块，其特征在于，该光陷阱结构所接收的投射光源的位置与该透光窗口保持有一光陷阱距离。

7.如权利要求6所述的微粒检测模块，其特征在于，该光陷阱距离大于3mm。

8.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，该微粒传感器为PM2.5传感器。