[实用新型]三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置

权利要求书

1.一种三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置，其特征在于，所述装置包括工作电极模块、对电极模块、参比电极模块、电化学工作站、力流变抛光机、抛光液池和力流变抛光液；所述工作电极模块固定安装在力流变抛光机上，抛光工件作为工作电极与抛光液池内的力流变抛光液接触，通过导线与电化学工作站连接；所述对电极模块固定安装在力流变抛光机上，对电极与力流变抛光液接触，通过导线与电化学工作站相连；所述参比电极模块固定安装在力流变抛光机上，参比电极与力流变抛光液接触，通过导线与电化学工作站相连。

2.如权利要求1所述的三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置，其特征在于，所述工作电极模块包括抛光工件夹具上部、导电滑环、抛光工件、抛光工件夹具下部和导线；所述抛光工件夹具上部包括键槽和导线，抛光工件夹具上部通过键槽与电机输出轴固定连接，导电滑环采用过盈配合方式固定安装在抛光工件夹具上部；抛光工件作为工作电极，通过抛光工件夹具下部固定安装在抛光工件夹具上部，抛光工件通过导线、导电滑环、导线与电化学工作站连接，为旋转运动的抛光工件提供稳定的电流通路。

3.如权利要求1所述的三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置，其特征在于，所述对电极模块包括对电极模块固定夹具、碳刷夹具、碳刷、对电极、导线、导电环和导线，对电极模块固定夹具与力流变抛光机上的对电极模块支撑杆连接，调节紧固螺钉实现对电极模块的升降以及碳刷与导电环接触角度的调整，碳刷夹具通过螺纹连接方式与对电极模块固定夹具连接，碳刷通过螺纹与碳刷夹具固定，对电极安装在抛光液池正上方，并通过导线、导电环、碳刷、导线与电化学工作站相连，为旋转运动的对电极提供稳定的电流通路。

4.如权利要求1所述的三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置，其特征在于，所述参比电极模块包括参比电极、参比电极保护罩和导线，参比电极固定安装在电机安装板上的参比电极固定孔，并通过参比电极保护罩进行保护，参比电极通过导线与电化学工作站相连，为工作电极提供稳定可靠的外加电压，参比电极的类型包括氢电极、甘汞电极、硫酸汞电极、氧化汞电极或氯化银电极。

5.如权利要求1所述的三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置，其特征在于，所述力流变抛光机包括工件自转模块支撑杆、工件自转模块、抛光液池旋转平台、对电极模块支撑杆；所述工件自转模块包括工件自转模块固定夹具、电机连接板、电机安装板和电机，工件自转模块固定夹具与力流变抛光机上的工件自转模块支撑杆连接，调节紧固螺钉实现工件自转模块的升降；电机连接板通过螺栓与工件自转模块固定夹具连接；电机安装板通过螺栓与电机连接板连接，通过圆弧槽改变调节电机安装板的角度，进而优化调节抛光工件与力流变抛光液的接触角度，电机通过螺栓与电极安装板固定。

6.如权利要求1或5所述的三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置，其特征在于，所述抛光液池通过定位销与力流变抛光机上的抛光液池旋转平台固定连接，抛光液池内添加力流变抛光液。