[实用新型]电流控制射频电源

说明书

本实用新型涉及电源装置技术领域，且公开了电流控制射频电源，包括电箱，所述电箱的内部边缘处设置有通风管道，所述通风管道内侧边缘处固定安装有第一纤维板，所述第一纤维板的上面固定连接有第二纤维板，所述通风管道的内部固定安装有干燥块，所述第一纤维板的上下左右四角均固定安装有卡接柱，所述电箱的内部且位于第一纤维板的内侧设置有工作电路腔体。通过将卡接环卡接在卡接柱上，可以快速实现盖板的拆装，这样也便于后期的维修检查工作，不必将整个电箱全部拆开，即可检查内部方便维修大大减轻了工人的工作量，从而实现一种可以降低射频电源工作环境中温度及湿度的电流控制射频电源的目的。

技术领域

本实用新型涉及电源装置技术领域，具体为电流控制射频电源。

背景技术

射频电源是PECVD设备中重要的组成部分，它是生成等离子体的能量来源，广泛应用于TFT，半导体和光伏行业中。但是，现有技术中的射频电源工作时受工作环境中湿度的限制较大，当射频电源工作环境中的湿度大于一个额定值时，射频电源将无法正常工作；如，根据厂家提供数据，当射频电源工作环境中的湿度大于70％时，射频电源无法正常工作。尤其是在光伏行业中，工艺条件相对比较简单，厂区条件较差，射频电源工作环境的湿度等很难控制，而且每年到了夏天雨季，射频电源工作环境中的湿度最高可达到95％，在此环境中，射频电源无法维持正常工作，同时在射频电源工作时，常常会产生大量的热量，如果这些热量不及时排出去的话，就会危害射频电源。因此提出一种可以降低射频电源工作环境中温度及湿度的电流控制射频电源。

实用新型内容

为实现上述一种可以降低射频电源工作环境中温度及湿度的电流控制射频电源的目的，本实用新型提供如下技术方案：电流控制射频电源，包括电箱，所述电箱的内部边缘处设置有通风管道，所述通风管道内侧边缘处固定安装有第一纤维板，所述第一纤维板的上面固定连接有第二纤维板，所述通风管道的内部固定安装有干燥块，所述第一纤维板的上下左右四角均固定安装有卡接柱，所述电箱的内部且位于第一纤维板的内侧设置有工作电路腔体，所述电箱的外部左右两侧均固定安装有拉手，所述电箱的正面表面上设置有区域窗口和操作按钮，所述电箱的背面下端左右两侧均固定安装有支撑座，所述支撑座的下端固定连接有垫片，所述支撑座的内侧且位于电箱的底部活动连接有排风管，所述电箱的背面底部固定安装有金属滤网背板，所述工作电路腔体的背面活动安装有盖板，所述盖板的内侧设置有电路金属背板，所述盖板的外侧表面固定安装有固定金属片，所述固定金属片的表面固定连接有导热固定合金铜管，所述盖板的四角均固定安装有卡接环，所述电箱的底部且位于金属滤网背板下面固定安装有底板，所述底板的中间部位穿插有进风管，所述进风管的内部固定安装有电机，所述电机的上面转动连接有风扇。

本实用新型的有益效果是：该电流控制射频电源在使用时，通过进风管中的电机转动带动风扇转动，将外界中的空气进电箱中，外界的空气会挤压原有的内部空气从第二纤维板以及第一纤维板中排到通风管道中，另一部分从金属滤网背板中排出，这样不仅可以快速带走电箱中的热量，也可以清除部分灰尘，其中通风管道中设置有干燥块，干燥块的内部填充有石灰石，在使用时电箱内部的空气会顺着第一纤维板内部的细微气孔进入到通风管道中，然后被干燥块内部的石灰石吸收从而降低电箱空气中的湿度，第二纤维板的内部填充有活性炭粉，同时第二纤维板上面均匀开设有小孔，当外界的气流从进风管中出来后就会通过第二纤维板进入通风管道中，这样第二纤维板就会吸收一部电箱内部空气中的水分，以及灰尘，此外通过导热固定合金铜管可以将电路金属背板中所产生的热量快速导入进墙壁中，降低电箱内部的热量，通过将卡接环卡接在卡接柱上，可以快速实现盖板的拆装，这样也便于后期的维修检查工作，不必将整个电箱全部拆开，即可检查内部方便维修大大减轻了工人的工作量，从而实现一种可以降低射频电源工作环境中温度及湿度的电流控制射频电源的目的。

作为优化，所述第二纤维板的内部填充有活性炭粉，同时第二纤维板上面均匀开设有小孔，当外界的气流从进风管中出来后就会通过第二纤维板进入通风管道中，这样第二纤维板就会吸收一部电箱内部空气中的水分，以及灰尘。