[实用新型]一种槽式湿法花篮有效
申请号: | 201921920703.0 | 申请日: | 2019-11-08 |
公开(公告)号: | CN210403682U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 张临安 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 湿法 花篮 | ||
本实用新型公开了一种槽式湿法花篮,其包括端板和花篮杆,端板为两个,两个端板间隔设置,花篮杆为多个,每个花篮杆的两端分别连接在两个端板上,每个花篮杆均上设有两个卡齿组,每个卡齿组包括多个沿花篮杆长度间隔分布的卡齿,两个卡齿组沿花篮杆的宽度方向间隔设置,且两组卡齿组内的多个卡齿沿花篮杆的长度方向错开设置,两个卡齿组中相邻设置的两个卡齿被配置为卡接硅片。该槽式湿法花篮能够较好地减小硅片上的卡齿印,从而保证了硅片的良品率。
技术领域
本实用新型涉及光伏设备技术领域,尤其涉及一种槽式湿法花篮。
背景技术
槽式湿法工序,例如制绒、抛光、清洗等工序是制备晶硅太阳能电池的非常重要的工序,而花篮的卡齿印是困扰槽式湿法工序的重要难题之一。目前,花篮大多采用鲨齿状的卡齿来固定硅片,通过调整卡齿间距来改善卡齿印。但是,调整卡齿间距很难在根本上解决卡齿印,一旦卡齿间距过小,卡齿印会比较严重,而卡齿间距过大,会产生碎片、粘片等问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种槽式湿法花篮,该槽式湿法花篮能够较好地减小硅片上的卡齿印,从而保证了硅片的良品率。
为实现上述技术效果,本实施例的槽式湿法花篮的技术方案如下:
一种槽式湿法花篮,包括:端板,所述端板为两个,两个所述端板间隔设置;花篮杆,所述花篮杆多个,每个花篮杆的两端分别连接在两个所述端板上,每个所述花篮杆均上设有两个卡齿组,每个所述卡齿组包括多个沿所述花篮杆长度间隔分布的卡齿,两个所述卡齿组沿所述花篮杆的宽度方向间隔设置,且两个所述卡齿组内的多个所述卡齿沿所述花篮杆的长度方向错开设置,两个所述卡齿组中相邻设置的两个所述卡齿被配置为卡接硅片。
在一些实施例中,每个所述卡齿均形成为宽度逐渐减小的锥状齿,两个所述卡齿组内的所述卡齿的锥底相对设置。
在一些具体的实施例中,每个所述卡齿的横截面积在远离所述花篮杆的方向上逐渐减小。
在一些可选的实施例中,两个所述卡齿组内相邻设置的两个所述卡齿的间距为a,a满足关系式:1mm≤a≤3mm。
在一些可选的实施例中,所述花篮杆和所述卡齿均为塑料件。
在一些可选的实施例中,所述花篮杆的两端设有环绕所述花篮杆设置的凸环,所述凸环被配置为与所述端板相连。
在一些可选的实施例中,所述花篮杆的个数为四个,所述端板为方形,其中两个所述花篮杆位于所述端板的上部且间隔设置,另外两个所述花篮杆位于所述端板的下部且间隔设置,位于下部的两个所述花篮杆设置在位于上部两个的所述花篮杆之间。
在一些可选的实施例中,所述端板与多个所述花篮杆为一体成型件。
本实用新型的槽式湿法花篮,由于同一个花篮杆上设有沿其长度方向错开分布的两个卡齿组,可以在不增大卡齿间距的情况下减小硅片与卡齿的接触面积,增大了硅片的活动空间,增大了卡齿之间的药液均匀性,从而减小了硅片上的卡齿印,提升了硅片的良品率。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式提供的槽式湿法花篮的结构示意图。
图2是本实用新型具体实施方式提供的花篮杆的结构示意图。
附图标记:
1、端板;
2、花篮杆;21、卡齿;22、凸环。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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