[实用新型]高效益配置直线滑台

说明书

本实用新型公开了一种高效益配置直线滑台，包括一一次侧及一二次侧，其中该一次侧设有用于产生感应磁场的一电机构造，该二次侧相对于电机构造设有一磁铁，一次侧内部形成一空间，电机构造设于该空间，该空间内设有一驱动器，且驱动器与电机构造邻近，二次侧设有一光学尺与磁铁侧向相邻，空间设有一读头与光学尺相对。电机构造、驱动器、光学尺及读头同设于该空间，可降低一次侧与二次侧相对作动的误差，整体空间配置效益高。

技术领域

本实用新型系涉及一种精密滑台，特别是指一种内置驱动器及光学尺与读头的高效益配置直线滑台之创新结构。

背景技术

随着科技的演进，多种制造加工的处理模式已进入奈米等级，众多精密产品于制程中有更高更严苛的精度要求，尤其是光电及晶圆产品，其精密定位技术成为必备条件。

直线滑台是一种应用于精密加工制程的设备；直线滑台主要包括一一次侧及一二次侧，其中一次侧设有用于产生感应磁场的电机构造，二次侧相对于电机构造设有磁铁，据使一次侧与二次侧相对滑移，电机构造与一驱动器利用电导线电性连接，驱动器主要由电子电路构成，用于控制通过电机构造的电流，借此控制电机构造所产生感应磁场的强度及磁力线方向，变化一次侧与二次侧相对位移的方向及速度，二次侧外部耦接一光学尺，一次侧外部相对于光学尺耦接一读头，一次侧与二次侧相对位移时，读头读取光学尺产生数据，作为驱动器控制一次侧与二次侧相对位移量的依据。

直线滑台与驱动器、光学尺及读头分离设置，降低驱动器受到直线滑台周边环境可能的污染，却使得直线滑台与驱动器、光学尺及读头之间存在着相当的距离，驱动器与直线滑台之间的电导线也就具备相应的长度，电流通过电导线时，电流将会产生衰减现象，驱动器对直线滑台传送的控制讯号容易受到外界影响而产生噪声，但是，直线滑台作动的精密度要求高，电流通过电导线的衰减及噪声现象，易造成直线滑台作动误差，电导线的长度越长，电流的衰减量越高，噪声产生的机率越高，直线滑台作动误差程度越高，而且数个直线滑台需要紧邻设置时，多条电导线并存于空间中，容易产生彼此缠绕干扰的问题，也容易造成多个光学尺及读头设置的困难。

实用新型内容

本实用新型主要目的在于提供一种高效益配置直线滑台。

为达到上述目的，本新型采用以下技术方案：

一种高效益配置直线滑台，包括一一次侧及一二次侧，其中一次侧设有用于产生感应磁场的一电机构造，二次侧相对于电机构造设有一磁铁，据使一次侧与二次侧相对滑移；

一次侧内部形成一空间，一次侧与二次侧相对位移之方向与一X轴平行，电机构造设于该空间，该空间内设有一驱动器，且驱动器与电机构造沿着X轴方向邻近；

二次侧于邻向空间的一侧凹陷一嵌槽，二次侧设有一光学尺，光学尺嵌设于嵌槽，光学尺与磁铁侧向相邻，且光学尺之长轴方向与X轴平行，空间设有一读头与光学尺相对，且读头与电机构造邻近。

借此创新独特设计，使本实用新型对照先前技术而言，可降低一次侧与二次侧相对作动的误差，整体空间配置效益高，达到实用之进步性。

附图说明

图1系本实用新型实施例一之立体分解图。

图2系本实用新型实施例一之一次侧之俯视图。

图3系本实用新型实施例一之侧面剖视图。

图4系本实用新型实施例二之一次侧之俯视图。

具体实施方式

各图所示系本实用新型高效益配置直线滑台具体可行之实施例，惟此等实施例仅供说明之用，在专利申请上并不受此结构之限制。