[实用新型]一种真空镀膜结构

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜结构，具体涉及真空镀膜设备领域，包括设备壳体，所述设备壳体的底部固定连接有底座，所述设备壳体的内部活动设有传动杆，所述传动杆通过轴承转动连接在底座内壁的底部，所述传动杆的表面通过连接杆分别固定连接有上固定圈和下固定圈。本实用新型通过传动杆带动下固定圈转动时，使得下固定圈带动转动盘转动，配合齿牙槽使得转动盘带动挂件杆分别同时以支撑杆和挂件杆为转轴转动，从而使得对挂件杆的镀膜更均匀，通过齿轮与齿圈的内壁啮合，使得挂件杆在分别以支撑杆和挂件杆为转轴转动的同时并发生着自转，从而使得镀膜更均匀，从而实现镀膜更均匀，且产品质量得到提高的目的。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，更具体地说，本实用涉及一种真空镀膜结构。

背景技术

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。现在国内工厂应用的大部分是蒸发镀膜,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。

但是现有技术在实际使用时，由于蒸发的离子在空气中的分布不均匀,在零件靠近靶材的一面镀的膜会比较厚,背离靶材的部分镀的膜就比较薄,导致镀膜不均，影响产品质量的情况。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种真空镀膜结构，本实用新型所要解决的技术问题是：镀膜不均匀影响产品的质量。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜结构，包括设备壳体，所述设备壳体的底部固定连接有底座，所述设备壳体的内部活动设有传动杆，所述传动杆通过轴承转动连接在底座内壁的底部，所述传动杆的表面通过连接杆分别固定连接有上固定圈和下固定圈，所述下固定圈的顶部通过轴承转动连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部通过轴承转动连接有转动盘，所述转动盘的中部通过轴承转动连接有挂件杆，所述挂件杆的顶部固定连接有齿轮，所述齿轮的表面活动连接有齿圈，所述齿圈固定连接在下固定圈的顶部，所述底座相对应转动盘位置的内壁开设有齿牙槽，且齿牙槽的内壁与转动盘的表面活动连接。

使得当传动杆通过连接杆带动下固定圈转动时，会使得下固定圈通过支撑杆带动转动盘以传动杆为转轴转动，且转动盘的表面与齿牙槽的内壁啮合，使得当转动盘以支撑杆为转轴转动时会自转，且使得转动盘带动挂件杆分别同时以支撑杆和挂件杆为转轴转动，从而使得对挂件杆的镀膜更均匀，且当挂件杆以支撑杆为转轴转动时，会带动齿轮与齿圈的内壁啮合，从而使得当传动杆带动下固定圈转动时，会使得挂件杆在分别以支撑杆和挂件杆为转轴转动的同时并发生着自转，从而使得镀膜更均匀。

在一个优选地实施方式中，所述设备壳体的前侧面通过合页铰接有开关门，且设备壳体的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿并延伸至设备壳体的内部，所述驱动电机输出轴的底部与传动杆的顶部固定连接，使得传动杆可由驱动电机驱动，且通过设备壳体配合底座和开关门使得设备壳体的内部可形成密闭空间。

在一个优选地实施方式中，所述齿圈的内壁开设有齿槽，且齿槽的内壁与齿轮的表面啮合，使得当转动盘带动挂件杆以支撑杆为转轴转动时，通过齿轮与齿圈的内壁啮合，使得挂件杆在以支撑杆为转轴转动的同时自转。

在一个优选地实施方式中，所述转动盘的数量为六个，且六个转动盘呈环形设置在下固定圈的顶部，所述挂件杆的数量为二十四个，每六个挂件杆为一组，四组所述挂件杆呈环形设置在转动盘的中部，使得通过呈环形设置在下固定圈顶部的转动盘配合呈环形设置在转动盘中部的挂件杆，使得可以在下固定圈的顶部设置更多的挂件杆，且每个挂件杆表面的待镀膜件均能均匀的镀膜，从而使得大大的提高了下固定圈顶部的空间利用率，从而提高了产品的生产效率。