[实用新型]带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置

权利要求书

1.一种带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置，其特征在于，所述带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置设置有：激光加工装置，高放大倍率成像装置；

所述激光加工装置的激光器发出激光光束，依次经过扩束模块、二维双轴扫描振镜、场镜，聚焦在位于数控移动平台上的加工样品上；

所述高放大倍率成像装置包括点光源、点光源半透半反镜片、可变焦距镜组、成像CCD；以及电动控制伸缩反射镜；

所述数控移动平台的上方设置有由电动控制伸缩反射镜；所述可变焦距镜组与成像CCD与计算机通过有线或无线连接。

2.如权利要求1所述的带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置，其特征在于，所述点光源发出光为蓝色、黄色、红色或白色可见光，或为波长700nm～2000nm的近红外光源。

3.如权利要求1所述的带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置，其特征在于，所述电动控制伸缩反射镜的一侧设置有高放大倍率成像装置。

4.如权利要求1所述的带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置，其特征在于，通过手动或者电动方式调节的高放大倍率成像装置的成像平面。

5.如权利要求1所述的带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置，其特征在于，通过手动或者电动方式调节所述的高放大倍率成像装置的放大倍数。

6.如权利要求1所述的带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置，其特征在于，所述高放大倍率成像装置与激光加工装置光路非共线。