[实用新型]晶圆清洁装置及晶圆清洁系统

权利要求书

1.一种晶圆清洁装置，包括清洁刷，用于清洁待清洁晶圆背面的杂质，其特征在于，还包括喷淋器，能够朝向所述晶圆喷淋清洗液，所述清洗液具有导电性，能够释放所述晶圆背面的电荷。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洁装置，其特征在于，所述喷淋器包括至少两个喷嘴，均朝向所述晶圆设置，且所述喷嘴中至少包括一个清洗液喷嘴，用于喷淋具有导电性的清洗液。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洁装置，其特征在于，所述喷嘴中还包括至少一个去离子水喷嘴，用于喷淋去离子水，且所有所述喷嘴均朝向所述晶圆的背面设置。

4.根据权利要求2所述的晶圆清洁装置，其特征在于，所述清洗液喷嘴喷淋的清洗液包括碳酸溶液。

5.根据权利要求1所述的晶圆清洁装置，其特征在于，还包括控制阀，设置在所述喷淋器的液路上，用于控制所述喷淋器的液路通断。

6.根据权利要求5所述的晶圆清洁装置，其特征在于，还包括流量计，所述流量计设置在所述喷淋器的液路上，用于计量所述喷淋器的喷淋量。

7.根据权利要求6所述的晶圆清洁装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器连接所述流量计以及所述控制阀，并根据所述流量计的测量结果控制所述控制阀的通断。

8.一种晶圆清洁系统，其特征在于，包括如权利要求1至7中任一项所述的晶圆清洁装置，以及清洗液源，所述清洗液源用于提供待喷淋的清洗液，且所述清洗液源连通至所述喷淋器。

9.根据权利要求8所述的晶圆清洁系统，其特征在于，所述喷淋器包括至少一个清洗液喷嘴，用于喷淋清洗液，且所述清洗液喷嘴与所述清洗液源连通。

10.根据权利要求8所述的晶圆清洁系统，其特征在于，所述喷淋器包括至少一个去离子水喷嘴，用于喷淋去离子水，所述喷淋器还包括去离子水源，与所述去离子水喷嘴连通，用于为所述去离子水喷嘴提供喷淋用的去离子水。