[实用新型]衬底支撑组件

权利要求书

1.一种衬底支撑组件，其特征在于，所述衬底支撑组件包括：

主体，所述主体具有外顶表面、外侧表面和外底表面，所述外顶表面、所述外侧表面和所述外底表面包围所述主体的内部，所述主体包括：

接地电极，所述接地电极竖直地设置在所述主体的所述内部并邻近所述外侧表面。

2.如权利要求1所述的衬底支撑组件，其中所述衬底支撑组件还包括：

加热器，所述加热器设置在所述主体的所述内部中；

RF电极，所述RF电极设置在所述主体的所述内部中；以及

HV ESC电极，所述HV ESC电极设置在所述主体的所述内部中。

3.如权利要求2所述的衬底支撑组件，其中所述加热器、所述RF电极、所述HV ESC电极中的每个设置在所述主体中的平行层上。

4.如权利要求3所述的衬底支撑组件，其中所述主体由氮化铝或氧化铝制成。

5.如权利要求1所述的衬底支撑组件，其中所述衬底支撑组件还包括：

轴，所述轴耦接到所述主体的所述外底表面。

6.如权利要求1所述的衬底支撑组件，其中所述接地电极具有圆柱形形状并邻近所述外侧表面设置。

7.如权利要求6所述的衬底支撑组件，其中所述接地电极是笼。

8.如权利要求6所述的衬底支撑组件，其中所述接地电极沿着所述圆柱形形状的半径连续地为固体。