[实用新型]一种金属材料加工用光元退火炉

说明书

本实用新型公开了一种金属材料加工用光元退火炉，涉及到退火炉领域，包括退火箱，退火箱的一端固定连接有箱盖，退火箱的底部固定连接有支撑腿，退火箱的内腔两侧均固定连接有支撑板，两个支撑板之间固定连接有放置板，放置板的底部一端固定连接有拉板，支撑板的一侧开设有滑槽，滑槽的两侧均开设设有槽口，槽口的内部固定连接有固定杆，固定杆的表面固定连接有滑轮。本实用新型通过支撑板和放置板的配合能够便于金属材料的拿取或放置，避免在对金属材料拿取或放置时而造成不必要繁琐的过程，有效的提高了金属材料加工的工作效率，顶珠与卡槽的配合能够对支撑板的位置进行固定，防止金属材料在加工过程中发生移动而对金属材料的加工造成影响。

技术领域

本实用新型涉及退火炉领域，特别涉及一种金属材料加工用光元退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

目前，金属材料一般比较沉，退火炉在对金属材料加工完成后需要专门的工具将金属材料进行取出，而在取出时需要将工具伸进退火炉内，会造成不必要的繁琐，因此，提出一种金属材料加工用光元退火炉来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种金属材料加工用光元退火炉，以解决上述背景技术中提出的金属材料加工用光元退火炉的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种金属材料加工用光元退火炉，包括退火箱，所述退火箱的一端固定连接有箱盖，所述退火箱的底部固定连接有支撑腿，所述退火箱的内腔两侧均固定连接有支撑板，两个所述支撑板之间固定连接有放置板，所述放置板的底部一端固定连接有拉板；

所述支撑板的一侧开设有滑槽，所述滑槽的两侧均开设设有槽口，所述槽口的内部固定连接有固定杆，所述固定杆的表面固定连接有滑轮；

所述滑槽的一端开设有安装槽，所述安装槽的内部固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的一端固定连接有顶珠，所述放置板的一端两侧均开设有卡槽。

可选的，所述退火箱的一端两侧均固定连接有合页，所述退火箱和箱盖之间通过合页活动连接。

可选的，所述箱盖的一侧固定连接有拉柄，所述拉柄的表面固定连接有防滑套。

可选的，所述支撑腿的数量有四个，四个所述支撑腿分别位于退火箱的底部四角处。

可选的，所述放置板位于滑槽内并与滑槽活动连接，两个所述滑轮分别与放置板的两侧活动连接。

可选的，所述顶珠位于卡槽内并与卡槽固定连接，所述卡槽呈圆弧状，所述卡槽与顶珠相适配。

可选的，所述滑轮的数量有多个，多个所述滑轮等距离排列在槽口内。

本实用新型的技术效果和优点：

1、本实用新型通过支撑板和放置板的配合能够便于金属材料的拿取或放置，避免在对金属材料拿取或放置时而造成不必要繁琐的过程，有效的提高了金属材料加工的工作效率，通过顶珠与卡槽的配合能够对支撑板的位置进行固定，防止金属材料在加工过程中发生移动而对金属材料的加工造成影响。

2、本实用新型通过支撑腿能够增加退火箱的稳定性，通过拉板能够便于放置板的移动，通过滑槽能够便于放置板滑动，通过滑轮能够降低放置板在移动过程中对支撑板造成的摩擦力。

附图说明

图1为本实用新型结构的主视示意图。

图2为本实用新型退火箱结构的剖视示意图。