[实用新型]一种便于转移的MicroLED芯片有效

专利信息
申请号: 201921940695.6 申请日: 2019-11-11
公开(公告)号: CN211320074U 公开(公告)日: 2020-08-21
发明(设计)人: 仇美懿;庄家铭;陆绍坚 申请(专利权)人: 佛山市国星半导体技术有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L25/075;H01L21/67
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 胡枫;李素兰
地址: 528200 广东省佛山市南海区狮*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 便于 转移 microled 芯片
【说明书】:

本实用新型公开了一种便于转移的MicroLED芯片,包括载体基板、扩展片和多个芯粒,所述芯粒包括衬底、设置在衬底正面的外延层、以及与外延层导电连接的电极,所述扩展片结合在衬底的背面,以增加芯粒的与吸嘴的接触面积,所述载体基板上设有连接点,所述芯粒的电极结合在连接点上,从而将芯粒固定在载体基板上,所述连接点由具有粘附性的导电金属制成。本实用新型通过在衬底地背面设置一层扩展片,以增加吸嘴与芯粒的接触面积,使得吸嘴可以稳稳地吸住芯粒,从而提高转移效率。

技术领域

本实用新型涉及发光二极管技术领域,尤其涉及一种便于转移的MicroLED 芯片。

背景技术

Micro LED是一种未来具有非常潜力的产品。不过由于尺寸小,一般小于 50μm,需要分选机移转的次数就非常多,称作为巨量移转。

在巨量转移的过程中,芯片结合在蓝膜上,转移设备的摆臂首先移动芯片的上方,然后摆臂上的吸嘴下压到芯片上将芯片吸住,然后摆臂移动到电路基板上方,并将芯片放置在电路基本上,从而完成一次转移。

由于芯片的尺寸很小,而吸嘴的口径往往大于芯片的尺寸,因此吸嘴难以将芯片完全吸住,使得转移效率低下。

此外,由于芯片本身轻薄且小,蓝膜一般由塑胶片与胶体组成,胶体具有一定的厚度,吸嘴在下压是容易使芯片陷入胶体中,难以将芯片取出,影响转移效率。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于,提供一种便于转移的MicroLED芯片,增加芯片与吸嘴的接触面积,转移效率高。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种便于转移的MicroLED芯片,包括载体基板、扩展片和多个芯粒,所述芯粒包括衬底、设置在衬底正面的外延层、以及与外延层导电连接的电极,所述扩展片结合在衬底的背面,以增加芯粒的与吸嘴的接触面积,所述载体基板上设有连接点,所述芯粒的电极结合在连接点上,从而将芯粒固定在载体基板上,所述连接点由具有粘附性的导电金属制成。

作为上述方案的改进,所述扩展片由透明材料制成,所述透明材料为玻璃、石英、碳化硅或三氧化二铝。

作为上述方案的改进,所述扩展片的厚度为10~100μm。

作为上述方案的改进,所述扩展片设有切口,所述切口位于衬底的两侧。

作为上述方案的改进,所述切口的切割深度为扩展片厚度的0.3~0.5倍。

作为上述方案的改进,所述载体基板的材料为玻璃、石英、不锈钢、塑胶或铁氟龙。

作为上述方案的改进,所述连接点由金、锡、铜、铝和铟中的一种金属制成。

作为上述方案的改进,所述连接点的尺寸为电极尺寸的0.25~0.5倍。

作为上述方案的改进,所述连接点的厚度为5~30μm。

实施本实用新型,具有如下有益效果:

本实用新型提供了一种便于转移的MicroLED芯片,包括载体基板、扩展片和多个芯粒,所述芯粒包括衬底、设置在衬底正面的外延层、以及与外延层导电连接的电极,所述扩展片结合在衬底的背面,以增加芯粒的与吸嘴的接触面积,所述载体基板上设有连接点,所述芯粒的电极结合在连接点上,从而将芯粒固定在载体基板上,所述连接点由具有粘附性的导电金属制成。

本实用新型通过在衬底地背面设置一层扩展片,以增加吸嘴与芯粒的接触面积,使得吸嘴可以稳稳地吸住芯粒,从而提高转移效率。

本实用新型通过连接点将芯粒结合在载体基板上,载体基板作为芯粒的临时基板,起到支撑的作用,在转移的时候,通过吸嘴的下压力就可以将连接点压断,从而将芯粒与载体基板分离,有效提高芯粒的转移效率。

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