[实用新型]一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置

权利要求书

1.一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，其特征是，包括激光光源(1)，所述激光光源(1)的正下方设有四棱锥反射镜(2)，所述四棱锥反射镜(2)安装在悬架结构(3a/3b/3c/3d)上，所述悬架结构(3a/3b/3c/3d)包括刚性框架(4a/4b/4c/4d)和设置于刚性框架(4a/4b/4c/4d)中心的中心连接部(5a/5b/5c/5d)，所述中心连接部(5a/5b/5c/5d)与刚性框架(4a/4b/4c/4d)之间连接有可变形连接部(6a/6b/6c/6d)，所述四棱锥反射镜(2)安装在中心连接部(5a/5b/5c/5d)的上表面，中心连接部(5a/5b/5c/5d)的下表面安装有测针(7)，测针(7)的下端设有测端球(8)，所述测端球(8)用于和样品接触并通过中心连接部(5a/5b/5c/5d)带动四棱锥反射镜(2)产生位置变化；所述四棱锥反射镜(2)的其中三个反射面分别对准X轴四象限光电探测器(9)、Y轴四象限光电探测器(10)、Z轴四象限光电探测器(11)；所述四棱锥反射镜(2)用于将激光光源(1)发出的光线通过所述三个反射面分别反射至X轴四象限光电探测器(9)、Y轴四象限光电探测器(10)、Z轴四象限光电探测器(11)中；所述X轴四象限光电探测器(9)、Y轴四象限光电探测器(10)、Z轴四象限光电探测器(11)用于接收所述三个反射面所反射的光信号并产生对应的电压信号，从而得出样品的表面参数。

2.根据权利要求1所述的基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，其特征在于：所述激光光源(1)发出的光束中心线、四棱锥反射镜(2)的中心线、测针(7)的中心线与测端球(8)的中心线重合。

3.根据权利要求1所述的基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，其特征在于：所述测针(7)通过粘结或者焊接的方式连接于中心连接部(5a/5b/5c/5d)的下表面。

4.根据权利要求1所述的基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，其特征在于：所述激光光源(1)包括激光二极管(12)、准直透镜(13)和激光扩束镜头，所述激光二极管(12)发出的激光依次经过准直透镜(13)和激光扩束镜头后射出至四棱锥反射镜(2)的反射面上。

5.根据权利要求1所述的基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，其特征在于：所述刚性框架为中心对称结构。

6.根据权利要求1所述的基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，其特征在于：所述刚性框架呈圆环形或者正多边形结构。

7.根据权利要求6所述的基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，其特征在于：所述可变形连接部为均布在中心连接部周围的连接条或者填充于刚性框架与中心连接部之间的连接薄膜。

8.根据权利要求6所述的基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，其特征在于：所述可变形连接部为均布在中心连接部周围的连接条，所述连接条为三根、四根或者六根。