[实用新型]一种多功能硅产品酸洗装置

说明书

本实用新型公开了一种多功能硅产品酸洗装置，包括机台，所述机台内开设有清洗口，所述清洗口的侧壁上安装有机械手臂，所述机械手臂上设有洗料框，所述清洗口底壁上设有清洗槽，所述清洗槽上方设有洗料框，所述主料框包括两块相互平行的挡板和四个支撑管，四个所述支撑管分别连接两块挡板的四角，形成笼式框架，两个所述挡板之间设有支撑板，所述支撑板中部开设有安装口，所述安装口的侧壁上开设有用于卡接小料筐的安装槽。本实用新型中，将现有硅芯酸洗设备通过承载栏的重新设计，能满足5mm‑150mm硅块酸洗要求，同时具备硅芯、硅桥、籽晶、基料的连续酸洗功能的设备，从而降低单一酸洗硅芯时的酸耗和成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种电子级多晶硅产品清洗装置。

背景技术

作为半导体原材料的电子级多晶硅生产最后工艺中的一部分，清洗电子级多晶硅对产品质量的保持、表面金属杂质的处理有着至关重要的意义。

电子级多晶硅硅块清洗工艺是将破碎好的电子级硅块盛入硅块清洗装置中，放在酸洗设备内进行酸洗，用酸液刻蚀硅块表面，清除硅料表面污染，使硅块表面金属杂质达到电子级多晶硅表金属的质量要求，目前硅块清洗装置只能进行硅块清洗，功能单一，存在酸消耗量大、利用率低的缺点；而硅芯酸洗机设备也只能进行硅芯酸洗，设备功能较单一，也存在酸的利用率低，消耗大的缺点，导致硅芯酸洗成本高，并且设备本身的利用率没有得到最大的发挥。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了提出一种多功能硅产品酸洗装置，解决现有技术中硅块清洗装置和硅芯酸洗机功能单一，对于酸的利用率低、消耗大的缺点。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种多功能硅产品酸洗装置，包括机台，所述机台内开设有清洗口，所述清洗口的侧壁上安装有机械手臂，所述机械手臂上设有洗料框，所述清洗口底壁上设有清洗槽，所述洗料框包括主料框和小料筐，所述主料框包括两块相互平行的挡板和四个支撑管，四个所述支撑管分别连接两块挡板的四角，形成笼式框架，两个所述挡板之间设有支撑板，所述支撑板中部开设有安装口，所述安装口的侧壁上开设有用于卡接小料筐的安装槽，两块所述挡板相互背向的一侧设有抓取柄，所述小料筐由五块板构成，且上方为开口，两块所述挡板及各小料筐的两侧均开设有卡接孔，并且每个位置的卡接孔相对于其他位置的挡板、侧边上的卡接孔处在同一水平线上。

酸洗硅芯时，将硅芯从任意一侧的卡接孔中穿入，每根硅芯在穿入时对准水平线上各个卡接孔的位置，然后按照卡接孔的数量全部插满硅芯，再将整个洗料框放入机台内的机械手臂手臂挂钩上，由机台控制在清洗槽内进行酸洗；同样在酸洗硅块时，将需要酸洗的硅块按照设计要求放入多个小料筐中，再将整个洗料框放入机台内的机械手臂手臂挂钩上，由机台控制在清洗槽内进行酸洗；同样的酸洗基料、籽晶的方法同洗硅块的方法一致。

优选地，相邻两个所述支撑管之间设有强化拉筋，所述强化拉筋的两端套接在两根强化拉筋上，提高了主料框的稳定性，所述支撑管由不锈钢管和PP管构成，所述PP管套在不锈钢管外表面，保证不锈钢管不被酸或酸气腐蚀。

优选地，所述主料框的挡板支撑管之间以套接的方式连接，且接缝间做防腐蚀衬塑处理。

优选地，所述小笼框的一侧固定连接有第一连接件，所述小笼框的另一侧固定连接有用于卡接第一连接件的第二连接件，方便小笼筐之间的拼接。

优选地，所述第一连接件为长条形且内部开设有T形槽，所述第二连接件为与T形槽匹配的T形块，将T形块卡接在T形槽内，便完成两个小笼框之间的卡接。

优选地，所述卡接孔有48个且直径为10mm，所述小笼筐的其侧边上开设有透水孔，便于酸液进入框内。

本实用新型的有益效果：