[实用新型]一种LED制造用光罩板有效
| 申请号： | 201921945111.4 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN210924182U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李锦新 | 申请（专利权）人： | 李锦新 |
| 主分类号： | G03F1/00 | 分类号： | G03F1/00;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人： | 杨克 |
| 地址： | 850000 西藏自治区拉萨*** | 国省代码： | 西藏;54 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 led 制造 用光 | ||
1.一种LED制造用光罩板，包括非晶圆曝光部(2)，其特征在于：所述非晶圆曝光部(2)的内侧开设有晶圆安装通槽(4)，所述晶圆安装通槽(4)的内侧连接有连接条(5)，所述连接条(5)的末端连接有晶圆曝光部(6)，所述非晶圆曝光部(2)的前侧设置有前侧荧光层(9)，所述非晶圆曝光部(2)的后侧与前侧荧光层(9)的对应位置处设置有后标记层(7)，所述前侧荧光层(9)的外侧设置有前防震胶层(8)，所述后标记层(7)的外侧设置有后防震胶层(1)，所述非晶圆曝光部(2)的内侧开设有矩形取物槽(3)，所述矩形取物槽(3)共设置有两个，两个所述矩形取物槽(3)分别位于前侧荧光层(9)的两侧，所述晶圆曝光部(6)的两侧贴设有不透光保护膜(10)。
2.根据权利要求1所述的一种LED制造用光罩板，其特征在于：所述前侧荧光层(9)设置为矩形框状涂层。
3.根据权利要求1所述的一种LED制造用光罩板，其特征在于：所述前防震胶层(8)设置为透明胶层。
4.根据权利要求1所述的一种LED制造用光罩板，其特征在于：所述后防震胶层(1)的外侧设置有防滑纹。
5.根据权利要求1所述的一种LED制造用光罩板，其特征在于：所述前防震胶层(8)与后防震胶层(1)的厚度相等。
6.根据权利要求1所述的一种LED制造用光罩板，其特征在于：所述不透光保护膜(10)的外侧设置有静电保护膜(11)。
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G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
